
- 微電子產業中的用水要求
微電子工廠在生產過程中會消耗大量用水,而這些水必須無污染物,以符合達成最佳產率所需的精確純度。供水系統必須能夠在沒有任何停機的情況下運作,以避免中斷製造流程,這就需要對水質進行持續的線上監測。
TOC 是確保此類設施水質的關鍵參數之一,因為它可能對正在製造的產品造成損害並導致相當大的損失。此量測的重要性可從 TOC 在水處理過程中的多個取樣點(圖 3)以及極低的可接受限值(表 1)看出。

隨著終端使用者持續優化、更新或替換製程,以提升效率、符合新的法規要求,並交付更好的產品品質,水務/公用工程團隊所承擔的要求也隨之增加,尤其是在水質監控與確保水中不含污染物方面。這對使用純水與超純水的產業(例如製藥、微電子、電力)更是關鍵,因為任何水質偏差都可能對水系統與最終產品/能源產出造成重大影響。
在這些應用中,重要污染指標之一是總有機碳(TOC, Total Organic Carbon)。針對水處理專案設計的 TOC 分析儀可協助團隊即時監測 TOC,同時不忽略系統整體效能與穩定性。

在使用者強化 TOC 控制需求的同時,負責水處理 skid(成套設備)之系統工程師與製造商/整合商,也需要尋找高效率且具成本效益的分析解決方案。
為達成此目標,系統整合商常採用能支援以下需求的方案:
採用業界認可的供應商
降低整體專案成本
便於整合、快速啟用與日常操作
提供進階功能,帶來明確優勢
便利的維修保養
系統整合商在選配 TOC 設備時,關鍵在於合作夥伴不僅要提供被廣泛採用的技術,還要能與產業社群密切互動,理解產業需求,並具備完整技術專業。
這樣系統設計者才能在早期完成標準化設計,避免因等待客戶針對 TOC 分析儀及相關設備的審批而延誤專案時程。
通常,TOC 分析儀在初始設定、軟體更新及更換時都必須以手動方式進行配置。這可能非常耗時,尤其是在專案中有多個感測器的情況下。此外,若安裝與程式設定由多位使用者或技術人員共同參與,配置不一致或程式錯誤的風險就會很高。能簡化這項作業並將錯誤降至最低的流程,可節省資源與時間,並將其投入更有價值的工作。
除了基本的測量功能之外,TOC 分析儀還應讓製造商能提供加值功能,以對準客戶的核心目標——降低成本與更完善的水質監測。無論是在安裝、啟動或維護期間節省成本,這些功能都應提供易於使用的操作體驗,以及針對未來服務與維修的預測指標。如此一來,使用者便能有效規劃資源,而不是在最後一刻手忙腳亂地處理問題。
除了這些功能之外,系統製造商及其客戶還應可取得先進的技術支援,以便迅速解決技術、應用與售後問題。無論安裝地點在哪裡,若能提供現場或遠端支援,都可大幅節省時間與資源,同時提供高品質的使用者體驗。

圖 1:製藥用水系統中的水處理階段。
依據法規要求,需要控制的關鍵污染物之一是 TOC,且不僅在水純化過程中需要控制,在配水環路及使用點也必須加以控制。USP 在章節 <643> 中鼓勵使用線上 TOC 儀表,用於產品控制,以及額外的製程與系統控制。TOC 與其他受規範參數的典型量測點如圖 1 所示。
對於發電所用的水,操作人員必須注意蒸汽/水循環中的水質,以確保符合汽輪機製造商的保固要求。此外,水質對於整個用水系統中的腐蝕與沉積控制至關重要,可確保安全的工作環境,以及汽輪機、管線、鍋爐與閥門的使用壽命。
儘管在水處理以及水/蒸汽循環中會量測與監測多種參數,TOC 由於對製程具有腐蝕與結垢影響,是一項需要持續監測的關鍵參數。處理後的水若 TOC 偏高並被送入水/蒸汽循環,會因有機物分解而導致 pH 降低,進而造成腐蝕並損壞關鍵廠區資產。這些有機物也可能沉積在熱交換表面,降低熱效率並增加發電成本。此外,TOC 會使冷凝水淨化器中的樹脂污損,因而降低其效能並需要頻繁再生。

圖 2。電廠中 TOC 的典型量測點
在水處理中,有機物會汙染 RO 膜,縮短其壽命並增加維護頻率。因此,務必要在處理流程末端監測 TOC,確保處理後水中的有機物不會進入水/蒸汽循環並損壞廠內設備。
系統中的 TOC 不僅會影響廠內設備的壽命,也會影響電廠的獲利能力。為了處理設備損壞,可能需要長時間停機維護。圖 2 顯示了電廠中用於確保適當監測與控制、以避免此類事件發生的典型 TOC 量測點。
除了典型電廠中的這些 TOC 監測點外,若電廠為熱電共生設施,還需要額外的量測點。在熱電共生廠中,汽輪機後的蒸汽通常會送往電廠所供應的製造設施,並用於生產製程。之後,蒸汽冷凝水會返回熱電共生廠,並在繼續於水/蒸汽循環中使用之前先通過冷凝水淨化器。這些冷凝水通常會帶有來自生產製程的一些 TOC 污染,因此監測此污染至關重要,以確保其不超過限值,並避免在水/蒸汽循環中造成損害。

微電子工廠在生產過程中會消耗大量用水,而這些水必須無污染物,以符合達成最佳產率所需的精確純度。供水系統必須能夠在沒有任何停機的情況下運作,以避免中斷製造流程,這就需要對水質進行持續的線上監測。
TOC 是確保此類設施水質的關鍵參數之一,因為它可能對正在製造的產品造成損害並導致相當大的損失。此量測的重要性可從 TOC 在水處理過程中的多個取樣點(圖 3)以及極低的可接受限值(表 1)看出。

圖3:超純水(UPW)生產、配送與使用中的微電子應用。
除了這些進階功能之外,METTLER TOLEDO 也在全球提供技術與售後支援,並有受過訓練的服務專家可在流程各階段協助系統製造商團隊——安裝、調試、預防性維護以及故障排除。這項能力,再加上可依水系統設計需求量身打造的TOC 分析儀,使 METTLER TOLEDO 成為與系統製造商目標一致、值得信賴且具價值的合作夥伴。