Ozone khử trùng đã ngày càng phổ biến trong những năm gần đây do các thay đổi về quy định và sự chú trọng hơn vào tính bền vững. Khử trùng bằng nhiệt có thể tốn kém khi vận hành, với WFI được sản xuất bằng phương pháp chưng cất có chi phí cao hơn khoảng 150%-350% so với WFI ở nhiệt độ môi trường.
Phân tích ozone đóng vai trò rất lớn trong các vòng tuần hoàn WFI, bảo đảm rằng không có ozone nào đi qua quá trình phá hủy bằng tia UV để đến sản phẩm cuối cùng và rằng mức ozone là phù hợp cho quá trình khử trùng. Phân tích đúng cách có thể là yếu tố quyết định giữa việc tuân thủ quy định và một sản phẩm chất lượng cao, với việc không tuân thủ và một sản phẩm bị hư hỏng. Việc hiểu rõ các loại cảm biến khác nhau có thể giúp đưa ra quyết định có cơ sở về loại cảm biến nên chọn.
