Walaupun regulasi sangat penting, kontrol proses tidak dapat diabaikan. Dua titik berikutnya yang perlu diperhatikan adalah sebelum penghancuran UV dan pada loop return.

Sensor sebelum penghancuran UV sering kali menjadi sensor yang bertanggung jawab untuk mengendalikan generator ozon. Melalui loop PID, sensor ozon akan mengendalikan level sistem selama operasional normal dan selama sanitasi. Penempatan sensor seperti yang ditunjukkan memberikan representasi terbaik dari tingkat ozon di dalam tangki penyimpanan. Jika sensor ini ditempatkan dekat dengan outlet generator ozon, ozon tidak akan tercampur dengan baik dan tidak akan mewakili tingkat di dalam tangki penyimpanan.

Sensor loop return sangatlah penting selama sanitasi ozon. Selama sanitasi, penghancuran UV akan dimatikan dan titik penggunaan ditutup. Hal ini memungkinkan air ozon mengalir melalui seluruh sistem. Kadar ozon biasanya juga ditingkatkan selama waktu ini. Masa half-life ozon singkat, sehingga sensor loop return diperlukan untuk memastikan tingkat sanitasi yang tepat pada akhir loop air. Jika loop panjang, ozon dapat terurai sampai tingkat yang menyebabkan level sanitasi tidak tercapai di akhir loop, sehingga menyisakan sebagian pipa yang tidak tersanitasi. Sensor ini akan memantau air pada loop return untuk memastikan hal tersebut tidak terjadi.

Walaupun tiga sensor ozon adalah jumlah ideal, dua sensor juga dapat diterima dalam sistem air ozon, asalkan memberikan perlindungan regulasi yang lengkap beserta kontrol proses yang sangat baik. Namun, ada satu catatan.

Selama operasional normal, kedua sensor akan memantau penghancuran pra-UV dan pasca-UV. Sensor penghancuran pra-UV memberikan kontrol proses untuk generator ozon, sementara sensor penghancuran pasca-UV memberikan data yang menunjukkan bahwa tidak ada ozon yang lolos melalui penghancuran UV.

Selama sanitasi, sensor penghancuran pasca-UV akan memantau loop return. Tidak ada produk yang sedang diproduksi saat sanitasi berlangsung dan titik penggunaan ditutup, sehingga sensor yang biasanya memantau apakah ozon mencapai titik penggunaan dapat dipindahkan ke loop return dan berfungsi sebagai jaminan bahwa tingkat sanitasi terpenuhi di akhir loop.

Metode ini dapat diterima dan tidak ada yang hilang dengan setup sistem ozon seperti ini. Satu-satunya pertimbangan adalah sensor harus berpindah untuk memantau aliran yang berbeda, melalui kontrol rekayasa maupun dengan personel yang memindahkan secara manual. Perlu juga diperhatikan bahwa sensor tidak boleh memiliki panjang tubing yang besar antara sensor dan titik pengukuran karena waktu half-life ozon sangat singkat.