Reinstwasserüberwachung in der Mikroelektronikindustrie
White Paper

Reinstwasserüberwachung in der Mikroelektronikindustrie

White Paper

Mit Reinwasser-Widerstands- und TOC-Messung

Reinstwasser und Prozessanalytik für die Halbleiterindustrie
Reinstwasser und Prozessanalytik für die Halbleiterindustrie

Die Halbleiterindustrie entwickelt sich rasant mit einer steigenden Nachfrage nach mehr Chips pro Wafer und schmaleren Leiterbahnen im einstelligen Nanometerbereich. Um diesen Herausforderungen zu begegnen, muss die Überwachung und Kontrolle von Reinstwasser umgesetzt werden, um ionische Verunreinigungen zu erkennen, die die Waferausbeute beeinträchtigen könnten. Zwei kritische Parameter, die online und in Echtzeit überwacht werden müssen, um die Wasserreinheit zu gewährleisten, sind der Gesamtgehalt organischen Kohlenstoffs (TOC) und der Widerstand. Da Halbleiterhersteller diese Parameter in ihren Reinwassersystemen im niedrigen ppb-Bereich exakt messen können, können sie die Qualität ihrer Produkte verbessern und den Ertrag steigern.

Die Modelle 6000TOCi und M800 bieten der Mikroelektronikindustrie das fortschrittlichste Werkzeug zur Umsetzung der für Reinwassersysteme erforderlichen kontinuierlichen Online-Messung und Prozesskontrolle. Das TOC-System von METTLER TOLEDO kombiniert die niedrigsten Kosten pro Messpunkt mit der schnellsten Reaktion, fortschrittlicher integrierter Diagnostik und Erkennung im niedrigen ppb-Bereich.

Der UPW UniCond-Sensor, das Modell 6000TOCi und der Transmitter M800 sind die besten Investitionen zur Risikosenkung und Ertragsverbesserung für die Mikroelektronikindustrie.

Dieses Whitepaper behandelt folgende Themen:

  • Die Bedeutung der Online-Widerstands- und TOC-Analyse
  • Reinstwasser in der Halbleiterfertigung
  • Kontinuierliche Widerstands- und TOC-Messung in Echtzeit

Die idealen Produktlösungen von METTLER TOLEDO für die Mikroelektronikindustrie sind die Sensormodelle 6000TOCi und UPW UniCond sowie der Transmitter M800.

Das Modell 6000TOCi ist ein Online-TOC-Sensor, der Daten in Echtzeit liefert und eine vorausschauende Diagnose ermöglicht. Er misst jede Sekunde und ermöglicht so eine kontinuierliche TOC-Analyse des Wassersystems. Er eignet sich hervorragend für alle Reinwasseranwendungen, bei denen auf Änderungen des TOC-Gehalts schnell reagiert werden muss, und er bietet eine umfassende Aufzeichnung von Historien und wichtigen Statistiken.

Der UPW UniCond-Sensor von METTLER TOLEDO bietet eine hohe wiederholbare Genauigkeit. Der UPW UniCond-Sensor ist mit Intelligent Sensor Management (ISM) ausgestattet. ISM-Sensoren bieten eine verbesserte Leistung gegenüber analogen Sonden aus zahlreichen Gründen, darunter ein integrierter Mikroprozessor, der das analoge Signal des Sensors in die eigentliche Messung des Parameters umwandelt.

Vervollständigt wird das Messsystem durch den M800 transmitter von METTLER TOLEDO. Es handelt sich um einen Multiparameter-Transmitter, der Flexibilität bei der Installation und vereinfachte Messungen zur Prozesskontrolle bietet. Er kann gleichzeitig einen, zwei oder vier Inline-Sensoren überwachen.

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