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TOC 常見問題集

Q: 什麼是 TOC (Total Organic Carbon) 總有機碳?

TOC 是「總有機碳」的縮寫（有時也稱為 Total Oxidizable Carbon）。它代表的是水中 有機物質中「碳元素」的濃度 ，科學界公認以「總有機碳」作為表達水中有機物濃度的標準單位。來源主要分為:補給水 (Make-up water)： 這是主要來源。地表水通常比地下水含有更高濃度的天然有機物，且受季節性變化影響顯著。離子交換樹脂： 樹脂顆粒的物理破碎或化學分解（如陽離子樹脂產生的磺酸或陰離子樹脂產生的胺類）會釋放有機污染物。配水系統： 包含泵浦潤滑劑、密封件、系統死角以及塑膠管材釋出的塑化劑。

您想知道的關於 TOC 總有機碳分析儀的解答

在製程水質分析中，TOC（總有機碳）的波動是衡量水質純淨度與製程穩定性的關鍵指標。為了協助您更高效地管理水質系統，我們彙整了這份全方位的常見問題集。

常見問題一覽表

本次 TOC 常見問題集將「由淺入深、理論與實務並行」，帶領您全面掌握 TOC 分析儀：

TOC 基礎定義

了解什麼是TOC 總有機碳，以及為何要監測TOC

TOC如何檢測

了解TOC檢測方法以及差異

TOC 解決方案

TOC 的解決方案有哪些?

TOC 的基礎定義

什麼是 TOC (Total Organic Carbon) 總有機碳?

TOC 是「總有機碳」的縮寫（有時也稱為 Total Oxidizable Carbon）。它代表的是水中有機物質中「碳元素」的濃度，科學界公認以「總有機碳」作為表達水中有機物濃度的標準單位。

來源主要分為:

補給水 (Make-up water)：這是主要來源。地表水通常比地下水含有更高濃度的天然有機物，且受季節性變化影響顯著。
離子交換樹脂：樹脂顆粒的物理破碎或化學分解（如陽離子樹脂產生的磺酸或陰離子樹脂產生的胺類）會釋放有機污染物。
配水系統：包含泵浦潤滑劑、密封件、系統死角以及塑膠管材釋出的塑化劑。

為什麼要需要去除並監測水中的 TOC?

超純水 (UPW) 是半導體晶圓清洗與生產中最強效的溶劑，隨著電路線寬不斷縮小，對於 UPW 系統持續且精確測量的需求呈倍數成長。TOC 的規範標準在過去幾十年中已從低 ppb（十億分之一）等級進步到 ppt（兆分之一） 的檢測水平。
透過監測 TOC，純水系統能即時驗證各項純化程序（如活性碳、RO 逆滲透、離子交換）是否有效將有機物降至安全範圍內，半導體廠能有效診斷有機物穿透的來源（如膜失效或樹脂劣化），從而降低風險並提高產量。防止微量污染損害昂貴的晶圓更甚至是製程設備。

若原水的 TOC 突然飆升（例如夏季自來水有機物增加），會加重純水系統中 UV 燈管與樹脂的負擔。透過在線 TOC 監測，可以預警並及時調整純化程序的運作壓力，避免終端水質崩潰，因此能否即時監控TOC變化便有很高的價值

TOC 如何檢測

TOC 檢測方法有哪些

燃燒氧化法 (Combustion Oxidation)

量測區間大，精度較低，一般用於廢水、藥液，較適合實驗室分析，若用於在線監控，前處理與保養較複雜

電導法

由於導電度計無法感測大多數有機污染物，TOC 分析儀透過 UV 氧化技術將有機物轉化為二氧化碳並形成碳酸，藉由氧化前後的導電度差異來計算 TOC 含量。量測區間較窄，精度較高，一般使用於量測超純水、DI回收水。亦是梅特勒托利多 THORNTON 核心技術，梅特勒托利多 TOC 更新速度快，每秒更新數據，維護量極低。