
- 마이크로일렉트로닉스 산업의 물 요구사항
마이크로일렉트로닉스 시설의 생산에서는 막대한 양의 물이 소비되며, 최대 생산 수율을 위해 요구되는 정확한 순도를 충족하려면 오염물질이 없어야 합니다. 제조 공정의 중단을 피하려면 물 공급이 가동 중지 없이 작동해야 하므로, 수질의 지속적인 온라인 모니터링이 필요합니다.
TOC는 이러한 시설에서 수질을 보장하는 핵심 매개변수 중 하나로, 제조 중인 제품에 손상을 주고 상당한 손실을 초래할 수 있습니다. TOC에 대한 물 처리 공정 중 여러 샘플 지점(그림 3)과 매우 낮은 허용 한도(표 1)는 이 측정의 중요성을 보여줍니다.











