データシート
ケーススタディ
ある大手半導体ファブリケータは、現在入手可能な測定器の性能を上回る比抵抗センサを必要としていました。メトラー・トレドは、比抵抗測定の新たな標準となるセンサをファブとともに開発しました。
アプリケーション
半導体製造に使用される超純水は非常に高い純度ですが、ウェーハの歩留まりに影響を与える可能性のある微量レベルのイオンが含まれています。その結果、耐水性の正確なモニタリングがこれまで以上に重要になっています。補償された比抵抗測定で≥0.5%の精度を達成できるセンサをご覧ください。
As regulators place ever greater emphasis on sustainability, semi fabs are under growing pressure to increase the quality of water in waste streams. A...