Cond Sensor UPW 3/4NPT 0.1C Ti 2
UPW UniCond 2極式比抵抗計は、半導体産業の超純水アプリケーションにおいてクラス最高の精度、安定性、環境分離を実現するため、業界のパートナーと共同で開発されました。
品番: 30819342
ハイライト
仕様
仕様 - Cond Sensor UPW 3/4NPT 0.1C Ti 2
| 温度センサ | Pt 1000 RTD, Class A |
| セル定数 | 0.1 cm-1 |
| 安定性 | 0.003 MΩ∙cm リンスアップ後の標準的なばらつき |
| 測定技術 | 導電性 |
| 継手材質 | PTFE/SS |
| 挿入長 | 34mm |
| モデルファミリー | 2極式センサ UniCond |
| 動作範囲 (MΩ-cm) | 1 MOhm – 50 MOhm |
| 精度 | 1～10 MΩ·cm：≤ ±1% 補正 @ 25°C 30～50 MΩ·cm：≤ ±1% 補正 @ 25°C 10～30 MΩ·cm：≤ ±0.5% 補正 @ 25°C |
| 防爆(危険場所)認証 | なし |
| 測定圧力抵抗 | 17 bar @ 93 °C |
| 電極材質 | チタニウム |
| 主な媒体/アプリケーション | 半導体用水 |
| 衛生/生体適合性の承認 | なし |
| プロセス継手 | ¾" NPTM |
| 電極構成 | 2電極 |
ドキュメント
データシート
ケーススタディ
ある大手半導体製造業者は、現在入手可能な機器の性能を上回る比抵抗センサを必要としていました。メトラー・トレド Thorntonは、比抵抗測定の新しい標準を打ち立てるセンサを開発しました。
アプリケーション
半導体製造に使用される超純水は非常に高い純度ですが、ウェーハの歩留まりに影響を与える可能性のある微量レベルのイオンが含まれています。その結果、耐水性の正確なモニタリングがこれまで以上に重要になっています。補償された比抵抗測定で≥0.5%の精度を達成できるセンサをご覧ください。
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