
- マイクロエレクトロニクス業界における水の要件
マイクロエレクトロニクス施設では、生産に大量の水が使用されるため、最大の歩留まりを実現するために求められる厳格な純度基準を満たすには、汚染物質を含まないことが不可欠です。また、製造工程の中断を防ぐために、給水システムは停止することなく稼働し続ける必要があり、そのためには水質の継続的なオンライン監視が求められます。
TOCは、このような施設において水質を確保するための重要なパラメータの一つです。TOC汚染は製造中の製品に損傷を与え、多大な損失につながる可能性があります。この測定の重要性は、水処理工程全体にわたるTOC測定ポイントの多さ(図3)と、極めて低く設定された許容基準値(表1)からも明らかです。











