De neutrale moleculen van puur water zijn zeer slechte geleiders, maar zodra de ionen erin oplossen, daalt de weerstand. De ionen acteren namelijk als mobiele ladingdragers die elektronen door het water kunnen dragen. Daarom is weerstandsmeting een van de belangrijkste analyses voor het garanderen van de UPW-kwaliteit bij de productie van wafers en speelt het een cruciale rol in de volgende processtappen:

icon

Epitaxie

Om ervoor te zorgen dat onzuiverheden niet in de epitaxiale lagen terechtkomen, is hoogzuiver water met een hoge weerstand essentieel. Verontreinigd water kan de elektrische eigenschappen en structurele integriteit van de epitaxiale film veranderen.

icon

Fotolithografie

Weerstand is cruciaal in deze stap, omdat ultrapuur water wordt gebruikt om wafers te spoelen na het aanbrengen en ontwikkelen van de fotolak. Water met een lage weerstand voorkomt ionische verontreiniging die defecten of patroonvervormingen kan veroorzaken.

icon

Etsen en strippen

Beide stappen vereisen ultrapuur water om chemische resten te verwijderen bij het spoelen van de wafers. Weerstandsbewaking zorgt ervoor dat het gebruikte water vrij is van verontreinigingen die etsprofielen kunnen beïnvloeden of resten achterlaten.

icon

Chemisch-mechanische planarisatie (CMP)

Het slib en spoelwater in CMP moet ultrapuur zijn met een hoge weerstand om deeltjesverontreiniging en ionische onzuiverheden te voorkomen die krassen of defecten op het waferoppervlak kunnen veroorzaken.

Geen enkele meting geeft het volledige beeld van de kwaliteit van ultrapuur water weer. Weerstand werkt samen met verschillende andere online parameters om de integriteit van het proces te waarborgen.

Selecteer een parameter om te verkennen:

Measure resistivity

Resistivity Measurement with Digital Sensors

Case Study on North American Semiconductor Fabrication Plant

afbeelding

Monitoring van totaal organische koolstof in de fabricage van halfgeleiders voor een verbeterde chipopbrengst

Begrip van de impact van sporen organisch koolstof bij de vervaardiging van apparaten

Geleidbaarheidssensoren uitgelegd

Geleidbaarheidssensoren uitgelegd

Van twee elektroden tot inductieve sensoren: inzicht in de verschillende typen geleidbaarheidssensoren, de werking en toepassingen ervan

Ik wil...
Hulp nodig?
Wij willen u helpen bij het bereiken van uw doelen. Praat met onze experts.