
- Exigences relatives à l’eau dans l’industrie de la microélectronique
Une grande quantité d’eau est consommée lors de la production dans une usine de microélectronique, et celle-ci doit être exempte de contaminants afin de satisfaire au niveau exact de pureté requis pour obtenir un rendement maximal de production. L’alimentation en eau doit fonctionner sans aucune interruption afin d’éviter tout arrêt du processus de fabrication, ce qui nécessite une surveillance en ligne continue de la qualité de l’eau.
Le COT est l’un des paramètres clés pour garantir la qualité de l’eau dans une telle installation, car il peut endommager le produit en cours de fabrication et entraîner des pertes considérables. Le caractère critique de cette mesure apparaît clairement à travers les multiples points d’échantillonnage au cours du processus de traitement de l’eau pour le COT (Figure 3) et les limites admissibles très faibles (Tableau 1).











