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Les régulateurs mettant de plus en plus l'accent sur le développement durable, les fabricants de semi-conducteurs sont de plus en plus contraints d'améliorer la qualité et de réduire la quantité d'eau dans les flux de déchets. En tant qu'indicateur principal de la qualité de l'eau, la mesure précise de la résistivité est cruciale.
Le nettoyage RCA est utilisé entre chaque étape de la production de plaquettes et fait appel à trois ou quatre bains de nettoyage, chacun suivi d'un rinçage à l'eau ultrapure (UPW) pour éliminer les produits chimiques, les résidus et les particules avant l'étape de production suivante.
Les capteurs de résistivité typiques disponibles aujourd'hui offrent une précision de mesure de +/- 1 %. Ce niveau d'incertitude peut être acceptable pour certains processus, mais il n'aide pas les semi fabs à répondre à leurs besoins en matière de production de technologies de nouvelle génération. Pour répondre à ces exigences en constante évolution, METTLER TOLEDO Capteur de résistivité a mis au point le capteur de résistivité UPW UniCond™- le seul capteur de résistivité disponible capable d'atteindre une précision ≥0,5 % sur une mesure de résistivité compensée en température.
Voulez-vous être vraiment certain que seule l'eau la plus pure atteint les points d'utilisation ? Mettler Toledo Thornton a la réponse. À mesure que le nombre de puces par wafer augmente et que les largeurs de ligne diminuent, la capacité à détecter les impuretés ioniques à l'état de traces améliorera considérablement le rendement et la qualité de vos wafers. Mais la grande question est la suivante : vos capteurs de résistivité peuvent-ils suivre ? La mesure de la résistivité fournit une mesure cumulative des ions et est souvent utilisée comme principal moyen de détecter les tendances d'impuretés ; cette mesure est donc essentielle pour garantir la pureté de l'eau. Grâce à une étroite collaboration avec des partenaires du secteur, Mettler Toledo Thornton a développé l'UPW Unicont. Des avancées de pointe en matière de précision, de stabilité du signal et d'isolation environnementale font de l'UPW Unicont le seul capteur de résistivité capable de répondre aux défis en constante évolution de l'industrie des semi-conducteurs. Avec UPW Unicon, vous pouvez être certain que votre eau est suffisamment pure pour atteindre les objectifs de rendement. Et comme la stabilité du signal de UPW Unicon permet de différencier les changements réels de votre eau du bruit, vous pouvez éviter de prendre des mesures inutiles lorsque l'eau est encore conforme aux spécifications. Vous pouvez désormais éliminer les variations cycliques des lectures de résistivité dues aux changements quotidiens ou saisonniers des températures ambiantes et de procédé. Soyez prêt pour l'avenir grâce à la précision inégalée du Mettler Toledo UPW Unicont. Pour en savoir plus, visitez www.mt.com barre oblique UPW Unicont.
Pour le nettoyage RCA, cette amélioration de la précision des mesures aidera les utilisateurs à
- Augmenter le rendement des plaquettes en renforçant les spécifications de qualité de l'eau entrante sans que les niveaux d'action ne tombent dans l'erreur du capteur.
- Prendre en toute confiance des décisions plus rapides sur le rapport rinçage/résistivité afin d'améliorer le rendement.
- Déterminer plus rapidement où détourner les flux de déchets, en maximisant l'eau pour la récupération/réutilisation et en minimisant l'eau envoyée dans les décharges.
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Électrode de pH en ligne/redox en ligne")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Transmetteurs")