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Obtenir une précision exceptionnelle pour les mesures de résistivité dans l'eau ultrapure

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Livre Blanc : Obtenir une précision exceptionnelle
Livre Blanc : Obtenir une précision exceptionnelle

Comme la taille des wafers des semi-conducteurs augmente et que la largeur des lignes diminue, les exigences sur la qualité de l'eau ultrapure continuent de croître. La détermination de la pureté de l'eau est possible grâce à des sondes de résistivité qui fonctionnent de façon fiable dans l'eau d'une pureté exceptionnelle - un défi en soi !

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