
- Wasseranforderungen in der Mikroelektronikindustrie
In einer Mikroelektronik-Fertigungsanlage wird eine große Menge Wasser verbraucht, und es muss frei von Verunreinigungen sein, um die exakt erforderliche Reinheit für eine maximale Produktionsausbeute zu erreichen. Die Wasserversorgung muss ohne Ausfallzeiten funktionieren, um Unterbrechungen im Fertigungsprozess zu vermeiden, was eine kontinuierliche Online-Überwachung der Wasserqualität erfordert.
TOC ist einer der wichtigsten Parameter, um in einer solchen Anlage die Wasserqualität sicherzustellen, da er das hergestellte Produkt beschädigen und zu erheblichen Verlusten führen kann. Die kritische Bedeutung dieser Messung zeigt sich an den mehreren Probenahmestellen während des Wasseraufbereitungsprozesses für TOC (Abbildung 3) und den sehr niedrigen zulässigen Grenzwerten (Tabelle 1).











