比抵抗測定の精度

ある大手半導体ファブリケータは、現在入手可能な測定器の性能を上回る比抵抗センサを必要としていました。メトラー・トレドは、比抵抗測定の新たな標準となるセンサをファブとともに開発しました。

このファブリケータは、生産歩留まりを向上させるために、現在の業界標準をはるかに超えるレベルの比抵抗測定の安定性と精度を必要としていました。解決策を見つけるためメトラー・トレドとのパートナーシップが結ばれました。

その結果、UPW UniCond(TM)は、温度補正、信号安定性、環境分離が従来よりも大幅に改善された比抵抗センサとなりました。

大成功を収めたこの評価の結果、同社はUPW UniCond を新しい比抵抗測定ソリューションとして採用し、同社の世界中の工場の施設のアップグレードや新たな製造工場の設計時に採用することを決定しました。

このケーススタディでは、ファブリケーターが実施した試験とその結果についてご紹介します。