台灣純水的極致回收系統搭配梅特勒托利多的高精準度在線檢測，成功建立起從超純水的源頭純度控制，到末端回收水系統高效回收的完美智慧循環。根據實廠數據評估，這套整合方案每日可為封測廠回收約 717 M³的水，減少738 M³的廢水排放，每年淨節省成本高達490萬元，整套設備的投資回收年限僅為1.84 年。高精度在線監測與智慧物理回收的雙劍合璧，正是半導體製造商降低生產風險、提高晶片良率，並加速實現ESG永續目標的最佳實踐。
台灣純水攜手梅特勒托利多
展示半導體超純水解方
更新時間: 2026 年 09 月 01日
新聞來源: DIGITIMES 科技網
台灣純水與梅特勒托利多攜手參展2026 SEMICON半導體展，推出智慧水循環解決方案，解決超純水品質監控和水資源回收效率等痛點。梅特勒托利多
在半導體產業持續追求高良率與永續製造的趨勢下，用水品質管理與廢水回收效率已成為重要課題。半導體製程水處理與回收專家台灣純水（TAIPURE）將於SEMICON Taiwan 2026國際半導體展展示其高回收率廢水處理技術，並結合全球超純水監測領導品牌梅特勒托利多（METTLER TOLEDO） 的在線水質監測方案，協助半導體廠實現水系統智慧化管理，提升水資源利用效率與系統穩定性。
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台灣純水結合AI效能預測 實現製程用水97%回收率
台灣純水針對晶圓切割、研磨與CMP等高濁度廢水，開發出獨家超濾系統。該系統採用日本Kuraray PVDF 親水化超濾膜（UF），具備高通量與高強度特性，配合單邊開放式結構，能有效防止懸浮固體（SS）在膜面堆積。該系統成功實現了97%的極致回收率（製程全過濾，無逆洗水），並具備24/7全天候長效穩定運行、完全零化學藥劑添加、污泥減量與綠色減碳之物理淨化優勢。經實廠運行一整年，系統壓差僅微幅增加 0.01~0.02 kg/cm²，且至今無須進行任何化學清洗保養，展現極佳的系統穩定性。
為落實智慧化營運，系統更深度整合AI效能預測模型。透過結合線性回歸（分析基線以掌握積垢基礎速率）、XGBoost（進行殘差學習以識別週期性操作規律）與EWMA（適應性偏差補償以即時校準）三大演算法，實時預測系統壓差趨勢。經長達一年的實廠驗證，其壓差預測準確度高達 93.8% 至 98.5%，能提前發出雜質預警，確保系統不停機。
梅特勒托利多助力超純水精準監測 守護晶圓良率
在半導體水循環中，去離子水回收（DIR）系統之入水與超純水（UPW）的水質監控是確保產線穩定的關鍵命脈。微量有機污染物（TOC）可能促進微生物生長，TOC、微生物或離子一旦滲入製程，將會損害晶圓表面並導致缺陷，嚴重損害晶片良率。隨著半導體產業積極追求水資源循環與提高回收效率，如何在強化DIR有效回收的同時，維持超純水水質的極致穩定，已成為晶圓製造端不可忽視的核心課題。
為此，梅特勒托利多Thornton推出高精度在線超純水監測技術，協助半導體業者在製程中即時掌握有機污染物與離子濃度變化，及早預警並採取因應措施，進一步提升製程可靠度與水資源管理效益。
其次，專為極細微有機污染設計的「6000TOCi 總有機碳分析儀」，提供連續在線實時測量，可將運轉所需的水樣流量降至 8.5 mL/min，有效降低廢水量，進而省下可觀的營運成本
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實現水系統一站式完美循環創造環境與經濟雙贏
瑞士商梅特勒托利多 台灣分公司
梅特勒托利多（METTLER TOLEDO）是全球領先的精密儀器與服務供應商。我們在各項業務領域均擁有強大的市場領導地位，並在多數領域中位居全球市佔率第一。 台灣分公司致力於將全球頂尖的精準量測技術與本地化服務深度結合。為了即時且專業地回應台灣市場的多元需求，我們在台北內湖與高雄仁武均設有營運據點，整合了全台各區域及不同產品線的業務與技術專家。