《在測量超純水的電阻率上達到極高的準確性》 - 梅特勒托利多
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《在測量超純水的電阻率上達到極高的準確性》

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白皮書: 達到極高的準確性
白皮書: 達到極高的準確性

隨著半導體的晶片和晶圓變大且線寬變窄,目前對超純水品質的要求也愈來愈高。要測定出水的純度,可以仰賴能在純度相當高的水源中可靠運作的電阻率感測器 (這本身就是一項挑戰)。

藉由免費的白皮書瞭解如何能提高電阻率的測量準確性。