微電子行業超純水線上測量解決方案

Microelectronics
微電子行業需要在生產過程中使用大量的超純水。一條普通的生產線每天用於晶圓和封裝基板清潔、沖洗與蝕刻操作就要消耗數千立方米的超純水。過程分析測量對於優化水源利用率和最大限度地提高回收和重複使用率至關重要。

Mettler-Toledo Thornton 針對要求極其嚴苛的超純水和微電子工藝加工應用過程,提供量身訂製的一系列覆蓋廣泛應用範圍的分析儀器,我們提供一流的電阻率/電導率、TOC、pH、ORP 、溶氧與溶氧解決方案,從而增加回收水量、降低排放量以及生產過程成本。了解關於我們採用獨特智能感測器管理 (ISM™) 理念的線上測量解決方案的更多訊息。

半導體

Semiconductor

超純水是半導體行業在生產與清潔晶圓時所採用的溶解性最強的腐蝕性溶劑。為了實現高效率操作以及符合最為嚴格的要求,對您的超純水系統進行分析製程控制至關重要。
 

平板顯示器

Flat Panel Display

平板顯示器生產對於純水和超純水系統中離子化和有機污染物的含量有著非常嚴格的要求。對超純水系統中的這些污染物進行監測可以幫助平板顯示器生產商提升產品品質和產量。

 

光電

Photovoltaic

光電電池生產需要晶圓表面絕對清潔,必須使用超純水對其進行充分清潔與沖洗。離子化鹽或有機污染物會對電池效率產生不利影響,必須對其進行連續監測。
     
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產品和解決方案

Products and Solutions

我們廣泛的產品中含有適用於最為嚴苛微電子應用的解決方案。

 

智慧感測器管理系統

ISM

智慧感測器管理系統 (ISM) 平台是一種創新的維護概念,它可簡化感測器的操作,提高可靠性以及降低感測器生命週期成本。