 |
Развитие в полупроводниковой промышленности идет стремительными темпами. Спрос стимулирует увеличение количества микросхем на плате и сокращение ширины спектральной линии в одноразрядном нанометровом диапазоне. Для решения этих задач необходим мониторинг и контроль состава сверхчистой воды (UPW), так как любое ионное загрязнение может отрицательно сказаться на выходе продукта. Для обеспечения чистоты воды требуется постоянное отслеживание двух важнейших параметров в режиме реального времени: удельного сопротивления и концентрации общего органического углерода (TOC). Благодаря возможности точного измерения этих параметров на уровне долей ppb в системах сверхчистой воды производители полупроводников могут повысить выход и качество продукции.
Датчик 6000TOCi и трансмиттер M800 — самое передовое решение для непрерывного измерения и управления технологическим процессом в системах сверхчистой воды для производства микроэлектроники. Система контроля TOC компании МЕТТЛЕР ТОЛЕДО отличается самой низкой стоимостью в пересчете на точку измерения, обеспечивает наиболее быстрый отклик, поддерживает обнаружение на уровне долей ppb и обладает расширенными функциями встроенной диагностики.
Датчик UniCond, 6000TOCi и трансмиттер M800 — лучшее вложение средств для снижения рисков и повышения выхода продукта в производстве микроэлектроники.
Подробно рассматриваются следующие вопросы:
- Важность анализа удельного сопротивления и общего органического углерода в потоковом режиме
- Мониторинг состава сверхчистой воды в полупроводниковой промышленности
- Непрерывный мониторинг удельного сопротивления и TOC в режиме реального времени
МЕТТЛЕР ТОЛЕДО предлагает идеальное решение для полупроводниковой промышленности, включающее датчики 6000TOCi, UniCond и трансмиттеры M800.
6000TOCi — это поточный датчик общего органического углерода с функциями заблаговременной диагностики, предоставляющий данные в режиме реального времени. Датчик проводит измерения каждую секунду, что обеспечивает непрерывный анализ общего органического углерода в системе водоподготовки. 6000TOCi идеально подходит для систем очистки воды, в которых быстрое обнаружение изменений уровня TOC имеет решающее значение. Датчик поддерживает хранение полного журнала измерений и вывод ключевой статистики.
Датчик UniCond от МЕТТЛЕР ТОЛЕДО позволяет получать результаты анализа с отличной воспроизводимостью без снижения точности. Датчик UniCond поддерживает технологию цифрового управления датчиками (ISM). Датчики ISM отличаются повышенной производительностью в сравнении с аналоговыми по целому ряду причин, включая наличие встроенного микропроцессора, который преобразует аналоговый сигнал датчика в реальное измеренное значение параметра.
Последний элемент измерительной системы от МЕТТЛЕР ТОЛЕДО — трансмиттер M800. Многопараметрический трансмиттер предлагает гибкие возможности установки и упрощает измерения для управления технологическим процессом. Он может одновременно отслеживать работу одного, двух или четырех встроенных датчиков.
