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마이크로일렉트로닉스의 발전으로 인해, 엄격한 UPW 요구 사항은 효율적인 세척 및 제조 공정에 매우 중요합니다. 탈이온화가 고갈에 가까워짐에 따라 방출되는 첫 번째 이온 중 하나인 실리카는 용수 시스템의 상태를 나타내는 중요한 지표 역할을 합니다. 온라인 실리카 모니터링을 통해 실리카 누출을 실시간으로 검출하여 탈이온화 수지의 성능과 수명을 최적화하고 과도한 화학 물질 사용을 줄이며 최고의 제조 생산성을 보장할 수 있습니다.
또한 지속적인 모니터링은 웨이퍼 제조 중 결함으로 이어질 수 있는 실리카 오염을 방지하여 수율을 높이고 결함률을 줄임으로써 UPW 품질을 유지하는 데 도움이 됩니다. 또한 실리카 침전물은 고정밀 장비의 스케일링 및 오염을 유발하여 유지보수 및 가동 중단 시간을 증가시킬 수 있으므로 장비 마모 및 운영 비용을 최소화합니다.
METTLER TOLEDO 2850Si 분석기는 연속 실리카 측정을 위한 신뢰할 수 있는 솔루션을 제공하여 정확하고 시기적절한 데이터, 예측 진단 및 낮은 유지관리 요구 사항을 보장합니다.
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