 |
マイクロエレクトロニクスの進歩により、効率的な洗浄および製造プロセスには厳しい超純水要件が不可欠です。シリカは、脱イオン装置が枯渇に近づくと最初に放出されるイオンの1つであり、水システムの健全性を示す重要な指標として機能します。オンラインシリカモニタリングにより、シリカのブレークスルーをリアルタイムで検出し、脱イオン樹脂の性能と寿命を最適化し、過剰な化学薬品使用量を削減し、製造のピーク生産性を確保することができます。
さらに、継続的なモニタリングにより、ウェーハ製造時の欠陥につながる可能性のあるシリカ汚染を防ぎ、歩留まりを向上させ、不良率を減らすことで、UPWの品質を維持するのに役立ちます。また、シリカの堆積物は高精度機器のスケーリングや汚れを引き起こし、メンテナンスやダウンタイムの増加につながる可能性があるため、機器の摩耗と運用コストを最小限に抑えます。
メトラー・トレドの2850Si分析計は、シリカの連続測定のための信頼性の高いソリューションを提供し、正確でタイムリーなデータ、予測診断、および低メンテナンス要件を保証します。
オンラインシリカモニタリングの利点については、ショートガイドをご覧ください。
