半導体・精密電子部品製造における超純水向けインライン測定ソリューション

Microelectronics
マイクロエレクトロニクス産業は、製造プロセスに大量の超純水を必要とします。

メトラー・トレドソーントンは、要求レベルの高い超純水や半導体製造プロセス向けに設計された、幅広い分析機器を提供します。純水の回収量を増加させ、排水量を制限し、製造コストの低減を図るために、比抵抗/導電率、TOC、pH、ORP、溶存酸素および溶存オゾン監視用の優れたソリューションを提供します。ユニークなインテリジェントセンサマネジメント(ISM™)コンセプトを特長とするソーントンのインライン測定ソリューションについて、さらに詳細な内容をご確認下さい。

半導体

Semiconductor

超純水は、半導体産業においてウェハ製造や洗浄に使用されている、極めて強力な溶媒です。効率の良い操業を行い、超純水に求められる最も厳しい条件を満たすためには、超純水システムのプロセス制御が何よりも重要となります。
 

フラットパネルディスプレイ

Flat Panel Display

フラットパネルディスプレイ製造には、純水および超純水システムのイオンや有機汚染に対する非常に厳しい基準が存在します。超純水システムで発生する汚染を監視・測定することで、製品品質の向上と生産量の最大化が可能となります。

 

太陽電池

Photovoltaic

太陽電池の製造ではウェハ表面の清浄度を高く保つ必要があり、これを実現するために超純水を用いて広範囲の洗浄、リンスを行う必要があります。イオン性の塩や有機物による汚染は、太陽電池効率にマイナスの影響を与えるため、継続的に監視しなければなりません。
     
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ダウンロードセンター

Download

難しいプロセスに正しく対応するためのヒントとなる、ニュースレターやカタログをダウンロードできます。

 

製品とソリューション

Products and Solutions

さまざまな製品は、最も要求レベルの高いマイクロエレクトロニクス産業のアプリケーションに対応するソリューションとして、重要な役割を果たします。

 

インテリジェントセンサマネジメント

ISM

インテリジェントセンサマネジメント(ISM)は、画期的なメンテナンスコンセプトにより、センサの取り扱いを簡素化して信頼性を向上し、ライフサイクルコストを削減します。