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あるアジア最大の半導体メーカーは溶存酸素測定に苦労していました。 同社はメンテナンス後、DO計測結果が十分に安定して使用できるようになるまでに3〜4日かかる高額なシステムを使用していました。
このファウンドリでは、超純水システムでの溶存酸素 (DO:Dissolved Oxygen)測定のソリューションとして、メトラー・トレド・ソーントンの光学式DOセンサとM800変換器を評価しました。
溶存酸素測定は、この半導体ファウンドリにおいて、高い優先順位を与えられてきました。 非常に速い応答速度、低い検出レベル、メンテナンスの削減といった期待は高いものでした。 メトラー・トレドは光学式DOセンサおよび M800変換器を含むソリューションで当初の期待を上回る測定結果を提供することができました。 光学技術を備えたDOセンサは二極化を必要としないため、測定システムの可用性は非常に高くなります。 M800変換器はDO測定を他のパラメーターの測定と組み合わせることができるマルチチャンネル、マルチパラメーター機能を提供します。
さらに詳しい情報は、ケーススタディをダウンロードしてお読みください：
- 半導体ファウンドリで溶存酸素を測定する理由
- 精度と反応におけるメリット
- 光学測定による長期的な節約
溶存酸素 (DO:Dissolved Oxygen) は、超純水 (UPW) の脱気後に測定され、水から酸素が除去されたことを確認します。 溶存酸素 (DO:Dissolved Oxygen) を低減させることで、水の導電率を低く維持することができます。これは、特に連続的な電子脱イオン化など、以降の処理段階において重要です。 ウエハプロセス中の使用ポイント (POU) 水中の溶存酸素 (DO:Dissolved Oxygen) 濃度が5 ppb未満に維持され、ゲートの酸化膜の制御が失われるのを防ぎます。 POUで溶存酸素 (DO:Dissolved Oxygen) 濃度が高くなると、酸素化水による予期しないエッチングの可能性が生じ、故障や歩留まりが低下して、莫大な費用がかかってしまいます。
