提高 UPW 质量

尽管晶圆制造中使用的超纯水纯度非常高，但其中仍含有痕量的常见金属和其他离子，会对晶圆产量产生负面影响。因此，准确、实时地监测水电阻率至关重要。

随着半导体线宽的不断缩小，以及行业迈过 3 纳米工艺节点，提高UPW质量的需求将与日俱增。电导率电极的精度必须不断提高，以便在非零背景下可靠地检测到极小的电阻率变化。

通过与行业合作伙伴的合作，梅特勒托利多已开发出一种电阻率传感器，其温度补偿、信号稳定性和环境隔离性能均显著优于以往的产品。测量精度的提高将使您能够改善 PoD 和 PoU 的 UPW 质量，从而提高晶圆产量。