微电子行业中的超纯水监测
白皮书

微电子行业中的超纯水监测

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具有UPW电阻率和TOC测量功能

半导体行业超纯水与过程分析
半导体行业超纯水与过程分析

伴随着对每片晶片上更多芯片及单数位纳米范围内更窄线宽的需求的不断增长,半导体行业正在高速发展。 为了应对这些挑战,必须实施超纯水 (UPW) 监测和控制,以检测可能对晶片产出造成负面影响的离子杂质。 必须在线实时监测以确保水纯度的两个关键参数是总有机碳 (TOC) 和电阻率。 在UPW系统中对这些参数的精确测量可达亚ppb级的能力,能够帮助半导体制造商提升产品质量并最大限度地提高产量。

6000TOCiM800为微电子行业提供最先进的工具,以满足UPW系统所需的在线持续测量和过程控制。 梅特勒-托利多TOC系统对每个测量点提供成本最低,具有最快的响应、先进的集成诊断和亚ppb级检测功能。

UPW UniCond传感器、6000TOCi和M800变送器是降低微电子行业风险和提高产量的最佳投资。

本白皮书阐述了以下主题:

  • 在线电阻率和TOC分析的重要性
  • 半导体制造中的超纯水
  • 实时、持续的电阻率和TOC监测

6000TOCi传感器、UPW UniCond传感器和M800变送器是梅特勒-托利多为微电子行业提供的理想产品解决方案。

6000TOCi是一种在线TOC传感器,可实时提供数据并提供预测诊断。 传感器每秒测量一次,可以对水系统进行持续的TOC分析。 6000TOCi是所有纯水应用的理想选择,快速检测TOC水平变化至关重要。传感器将提供历史和关键统计数据的全面记录。

梅特勒-托利多的UPW UniCond传感器提供高度可重复的测量准确度。 UPW UniCond传感器配备了智能传感器管理 (ISM) 功能。 由于多种原因,ISM传感器提供的性能比模拟探头更出色,其中包括一个內置微处理器,可将来自传感器的模拟信号转换为参数的实际测量值。

梅特勒-托利多M800变送器完善了测量系统。 它是一台多参数变送器,提供灵活的安装和简化的过程控制测量。 它可以同时监测一个、两个或四个在线传感器。

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