Contrôle de l'eau ultrapure dans l'industrie microélectronique
Livre Blanc

Contrôle de l’eau ultrapure dans l’industrie microélectronique

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grâce aux mesures de résistivité et de COT dans les eaux ultrapures

Le contrôle de l'eau ultrapure et l'analyse industrielle dans le secteur des semi-conducteurs
Le contrôle de l'eau ultrapure et l'analyse industrielle dans le secteur des semi-conducteurs

L'industrie des semi-conducteurs progresse rapidement avec une demande accrue pour davantage de puces par wafer et de largeurs de piste plus étroites à l'échelle d'un chiffre en nanomètre. Afin de relever ces défis, la surveillance et le contrôle de l'eau ultrapure (UPW) doivent être mis en œuvre pour détecter les impuretés ioniques susceptibles d'avoir un impact négatif sur le rendement du wafer. Deux paramètres critiques qui doivent être contrôlés en ligne et en temps réel pour garantir la pureté de l'eau sont le Carbone Organique Total (COT) et la résistivité. La capacité de mesurer avec précision ces paramètres à des niveaux inférieurs au ppb dans les systèmes d'eau ultrapure permet aux fabricants de semi-conducteurs d'améliorer la qualité de leurs produits et de maximiser le rendement.

Les modèles 6000TOCi et M800 offrent à l'industrie microélectronique l'outil le plus avancé pour répondre aux besoins continus de contrôle des procédés et de mesure en ligne requis pour les systèmes d'eau ultrapure. Le système COT de METTLER TOLEDO garantit le coût unitaire des mesures le plus bas avec la réponse la plus rapide, des diagnostics de pointe intégrés et une détection à un niveau inférieur au ppb.

La sonde UniCond 6000TOCi et le transmetteur M800 sont les meilleurs investissements pour réduire les risques et améliorer le rendement au sein de l'industrie microélectronique.

Ce Livre Blanc aborde les sujets suivants :

  • L'importance de l'analyse de COT et de la résistivité en ligne
  • L'eau ultrapure dans la fabrication de semi-conducteurs
  • Contrôle continu en temps réel de la résistivité et du COT

La sonde 6000TOCi, la sonde UniCond et les transmetteurs M800 constituent les solutions de produits idéales de METTLER TOLEDO à destination de l'industrie microélectronique.

La 6000TOCi est une sonde COT en ligne qui fournit des données en temps réel et offre des diagnostics prédictifs. La sonde réalise des mesures toutes les secondes, ce qui permet une analyse COT continue du circuit d'eau. La sonde 6000TOCi convient parfaitement aux applications qui utilisent de l'eau pure, où une détection rapide des changements du niveau de COT est critique, et la sonde consigne de manière exhaustive l'historique et les statistiques clés.

La sonde UniCond de METTLER TOLEDO offre une précision de mesure hautement reproductible. La sonde UniCond est équipée de la fonctionnalité Intelligent Sensor Management (ISM). Les sondes ISM offrent de meilleures performances que les sondes analogiques pour diverses raisons, y compris un microprocesseur intégré qui convertit le signal analogique de la sonde en mesure réelle du paramètre.

Le transmetteur M800 de METTLER TOLEDO vient compléter ce système de mesure. Il s'agit d'un transmetteur multiparamètres, qui offre une grande flexibilité d'installation et des mesures du contrôle des procédés simplifiées. Il peut contrôler simultanément une, deux ou quatre sondes en ligne.