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Inline-Messungen für Halbleiter-UPW

Semiconductor

Die Anforderungen der Halbleiterindustrie bezüglich Widerstand und Gesamtkohlenstoff (TOC) in Reinstwasser sind strenger als in allen anderen Branchen. Durch organische oder andere Verunreinigungen können Substrate zerstört werden und zur Verringerung der Ausbeute führen. Genaue, schnelle und problemlose Messungen können Ausschuss in Millionenhöhe verhindern.

Mettler-Toledo Thornton kennt sich bestens mit kritischen Messungen bei der Herstellung von Reinstwasser für die Verarbeitung von Halbleitern aus. In den meisten Halbleiterfertigungen weltweit arbeiten Geräte von Thornton zur Überwachung und Steuerung von Widerstand/Leitfähigkeit, TOC, pH, Redox, gelöstem Sauerstoff und gelöstem Ozon in UPW-Systemen.