Best Practices für das Wägen in der Halbleiterindustrie

In einer Küstenstadt kam es während der Taifun- und Erdbebensaison zu Produktionsunterbrechungen bei einem Hersteller von integrierten Schaltungen (IC). Durch die Aufrüstung seiner Dosiermaschine mit einem hochpräzisen Wägemodul mit integriertem Taifun-Filter kann der Kunde seine Produktionskapazität maximieren, indem er das ganze Jahr über eine hochgenaue Dosierung gewährleistet.

Ein führender Hersteller von Halbleiterchips strebte eine höhere Präzision bei seinem chemisch-mechanischen Polierprozess (CMP) an. Das Unternehmen hat die hochpräzisen PBK9-APW-Tischwaagen erfolgreich in seinen vollautomatischen Slurry-Formulierungsprozess integriert, sodass das Management ehrgeizige Präzisionsanforderungen erfüllen kann.

Ein Hersteller von Halbleiterchemikalien stand vor der Herausforderung, zu beweisen, dass sein herstellerübergreifendes Tankwägesystem genau ist. Um diese Herausforderung zu meistern, suchte das Management nach einem automatisierten System, das Leistung sicherstellt, und nach einer neuen Kalibriermethode, bei der keine Produktionsverzögerungen und Entsorgungskosten mehr entstehen.

Die Verteilung der Schleifmittelpartikel ist ein kritischer Parameter in einer chemisch-mechanischen Polierschmiere (CMP), der sich auf wichtige Kennzahlen wie die Materialabtragsrate auswirkt. Daher ist das Wägen von Inhaltsstoffen mit hoher Genauigkeit von entscheidender Bedeutung. Ein C6 PowerMountTM Wägemodul in Kombination mit einer IND360-Wägeanzeige sorgt für eine hochgenaue Mischsteuerung bei einer Ablesbarkeit von 50 g.

Ein Lieferant von Flaschengas hatte Schwierigkeiten, eine integrierte Wäge- und Automatisierungslösung zu finden, die sowohl die strengen Genauigkeitsanforderungen als auch die Sicherheitsanforderungen erfüllt. Es stellte sich heraus, dass METTLER TOLEDO und Rockwell Automation die gewinnbringende Kombination waren. Ihre nahtlose Lösung half dem Lieferanten dabei, ein nahezu unüberwindbares Problem zu lösen.