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| Bei der Herstellung von Flachbildschirmen ist das Ätzen mit Fluorwasserstoffsäure ein wichtiger Schritt. Aufgrund der Korrosivität von HF erfordern Ätzbäder sowie Spülwässer und Abwasserneutralisierung eine sorgfältige Auswahl von Leitfähigkeits- und pH-Sensoren für die Prozessüberwachung. |
Diese Application Note befasst sich mit der Rolle von Leitfähigkeits- und pH-Sensoren in HF-Ätzprozessen für Flachbildschirme und zeigt, warum die Auswahl der richtigen analytischen Sensoren für Ätz-, Spül- und Abwasserbehandlungsprozesse so wichtig ist.
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.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Inline-pH-Sensor / Redox-Sensor")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Transmitter")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Leitfähigkeitssensor / Widerstandssensor")