ホワイトペーパー

半導体・精密電子部品製造における純水の回収

ホワイトペーパー

より高度な制御と高い回収率の実現

エレクトロニクス産業における純水の回収
エレクトロニクス産業における純水の回収

純水はますます貴重な商品になるにつれて、精密電子部品製造でのその使用と回収を最大化することはとても重要です。マイクロエレクトロニクスにおける効率的な純水の回収には、オンライン水分析を慎重に利用する必要があります。

このホワイトペーパーでは、水の回収と再利用、および水の回収戦略の重要性について説明します。一部の工場が最大85%の回収をどのように達成しているかを考慮します。

全有機炭素(TOC)と導電率/比抵抗の測定は、精密電子部品工場や半導体製造工場における効率的な純水の回収に欠かせません。製造による廃棄、無駄の流れにはさまざまな性質があるため、複数の分析測定 パラメータが必要になります。高性能のTOCアナライザーを含めることは、効率的な制御に必要なコンポーネントの1つです。TOC分析装置は、プロセスからの純水の回収量を増やしながら、排水量を減らすことができます。

プロセス後の水の導電率または比抵抗測定は、マイクロエレクトロニクスにおける水の回収のほぼすべての段階で不可欠です。廃水処理中は、4極式または誘電式導電率式センサを使用して、高導電率 廃棄、無駄流を監視します。これらは分離プロセスを助け、廃棄、無駄排出のために十分に扱われたかどうかを判断します。