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Ein großer Halbleiterhersteller benötigte eine Widerstands Elektrode die die Leistung der derzeit verfügbaren Instrumente übertreffen würde. METTLER TOLEDO arbeitete Thornton gemeinsam mit der Fab an einer Elektrode die einen neuen Standard in der Widerstandsmessung setzt.
Die hohen Anforderungen des Herstellers an eine verbesserte Produktionsausbeute erforderten ein Niveau an Stabilität und Genauigkeit der Widerstandsmessung, das weit über die derzeitigen Industriestandards hinausging. Um eine Lösung zu finden, wurde eine Partnerschaft mit METTLER TOLEDO begründet.
Das Ergebnis ist der UPW UniCond(TM), ein Widerstandssensor mit deutlich besserer Temperaturkompensation, Signalstabilität und Umweltisolierung als bisher.
Auf der Grundlage äußerst erfolgreicher Testergebnisse hat der Hersteller den UPW UniCond als seine neue Lösung für die Widerstandsmessung akzeptiert und festgelegt, dass alle seine weltweiten Werke den neuen Sensor bei der Aufrüstung oder dem Entwurf neuer Fabriken einsetzen.
Diese Fallstudie befasst sich mit den vom Hersteller durchgeführten Tests und deren Ergebnissen.
Da die Linienbreiten von Halbleitern immer schmaler werden, wird die Notwendigkeit, die UPW-Qualität zu verbessern, nur zunehmen, um eine hohe Waferausbeute zu gewährleisten.
Die meisten Widerstandssensoren bieten eine Messgenauigkeit von +/- 1 %. Derzeit liegen die von SEMI F63 festgelegten Grenzwerte innerhalb dieses Fehlerbereichs. Dieses Maß an Unsicherheit mag für einige Prozesse akzeptabel sein, aber es hilft den Halbleiterfabriken nicht, ihre Anforderungen für die Produktion von Technologien der nächsten Generation zu erfüllen. Der UPW UniCond ist der einzige verfügbare Widerstandssensor, der eine Genauigkeit von ≥0,5% bei einer temperaturkompensierten Widerstandsmessung erreicht.
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