Thông tin ứng dụng phân tích TOC trong UPW bán dẫn

Thông tin ứng dụng này tìm hiểu tầm quan trọng của phân tích TOC thời gian thực, đáng tin cậy trong UPW bán dẫn. Nước siêu tinh khiết là dung môi làm tiêu tốn và mạnh nhất được ngành công nghiệp vi điện tử sử dụng để làm sạch và sản xuất linh kiện bán dẫn. Trong bốn thập kỷ qua, ngành công nghiệp điện tử đã tăng số lượng các mạch được khắc trên chip silicon theo cấp số nhân. Sự gia tăng số lượng mạch đã làm giảm đáng kể độ rộng đường truyền, do đó làm tăng độ lớn các yêu cầu về đo TOC chính xác và liên tục trong UPW.

Gọi để được báo giá

Quy trình sản xuất chất bán dẫn có một số thông số kỹ thuật nghiêm ngặt nhất đối với ô nhiễm ion và hữu cơ trong các hệ thống nước tinh khiết và siêu tinh khiết. Đo TOC của nước bán dẫn đã cho phép các nhà sản xuất nâng cao chất lượng sản phẩm và tối đa hóa sản lượng. Những tiến bộ trong công nghệ lọc nước và những đổi mới trong thiết bị đo lường để giám sát các chất gây ô nhiễm này đã đóng một vai trò quan trọng trong việc cải thiện và đo lường chất lượng của nước siêu tinh khiết. Đổi lại, những tiến bộ này đã làm giảm các thông số kỹ thuật đối với tất cả các mức ô nhiễm trong hệ thống UPW.

Tổng phân tích cácbon/TOC hữu cơ trong UPW bán dẫn là một phương pháp hiệu quả để theo dõi các chất ô nhiễm hữu cơ trong nước siêu tinh khiết và 'sức khỏe' của các hệ thống UPW được sử dụng trong ngành công nghiệp vi điện tử. Các chất hữu cơ cung cấp nguồn thức ăn cho các vi sinh vật có trong hệ thống phân phối, bể chứa và công nghệ xử lý hoặc mô-đun xử lý. Việc đo lường chính xác, nhanh chóng và thuận tiện mức hữu cơ trong hệ thống UPW có thể tiết kiệm hàng triệu đô la bằng cách ngăn chặn thất thoát sản phẩm.

Cảm biến 6000TOCi và máy truyền phát M800 thực hiện công việc đáp ứng yêu cầu cần thiết đồng thời cung cấp các lợi ích bổ sung của phép đo trực tuyến liên tục trong việc bảo trì thấp, đóng gói công nghiệp với công nghệ đa thông số đã được chứng minh. Cảm biến 6000TOCi giao tiếp trực tiếp với máy truyền phát M800, cung cấp khả năng thông số đo lường bổ sung. Cảm biến 6000TOCi và máy truyền phát M800 được trang bị hệ thống Quản lý cảm biến thông minh của (ISM) METTLER TOLEDO. Thiết bị chẩn đoán nâng cao ISM giúp đảm bảo cảm biến của bạn luôn hoạt động tối ưu.

Đọc thêm về cảm biến 6000TOCi và máy truyền phát M800 và cách sử dụng để phân tích TOC trong UPW bằng cách đọc thông tin ứng dụng và truy cập vào phần bên dưới:

Cảm biến 6000TOCi – Cảm biến tổng cácbon hữu cơ hiệu suất cao có thể giám sát TOC của nước bán dẫn với phép đo thời gian thực và phân tích ổn định, chính xác. Cảm biến tiết kiệm nước với hiệu suất hệ thống có thể kiểm chứng.
Máy truyền phát M800 – Máy truyền phát đa thông số có thể chấp nhận ba cảm biến phân tích khác ngoài TOC, bao gồm độ dẫn điện, pH, ORP hoặc oxy hòa tan[SST1], cộng với áp suất, mức bể hoặc hai cảm biến lưu lượng.
Quản lý cảm biến thông minh (ISM) – Công nghệ cảm biến kỹ thuật số giúp đoán trước trường hợp bảo trì, xử lý cảm biến đơn giản và sản xuất hiệu quả.

Tìm hiểu thêm