 |
Priemysel s polovodičmi rýchlo napreduje s rastúcim dopytom na viac čipov na doštičke a užšími linkami v jednocifernom nanometrovom rozsahu. Na splnenie týchto výziev musí byť zavedené monitorovanie a riadenie ultračistej vody (UPW) na detekciu iónových nečistôt, ktoré by mohli negatívne ovplyvniť výnos doštičiek. Dva kritické parametre, ktoré je na zaistenie čistoty doštičiek potrebné monitorovať online a v reálnom čase, sú celkový obsah organického uhlíka (TOC) a merný odpor. Schopnosť tieto parametre presne merať na úrovniach pod ppb v UPW systémoch umožňuje výrobcom polovodičov zlepšovať kvalitu produktov a maximalizovať výnosy.
Senzory 6000TOCi a M800 poskytujú mikroelektronickému priemyslu ten najpokročilejší nástroj na splnenie priebežného online merania a riadenia procesov, ktoré sú nevyhnutné pre UPW systémy. Systém TOC od METTLER TOLEDO poskytuje najnižšie náklady na bod merania s najrýchlejšou reakciou, pokročilou integrovanou diagnostikou a detekciou pod ppb.
V tejto bielej knihe sa diskutuje o nasledujúcich témach:
- Význam online analýzy odporu a TOC
- Ultračistá voda vo výrobe polovodičov
- Priebežné monitorovanie merného odporu a celkového obsahu organického uhlíka v reálnom čase
Spoločnosť METTLER TOLEDO ponúka mikroelektronickému priemyslu ideálne produktové riešenia vo forme senzora 6000TOCi, senzora UniCond a prevodníkov M800.
Online senzor celkového obsahu organického uhlíka 6000TOCi poskytuje údaje v reálnom čase a ponúka prediktívnu diagnostiku. Senzor meria každú sekundu, čo umožňuje priebežnú analýzu celkového obsahu organického uhlíku vo vodnom systéme. Senzor 6000TOCi je ideálny do všetkých aplikácií s ultračistou vodou, kde je kritická rýchla detekcia zmien v úrovniach celkového obsahu organického uhlíka, pričom poskytuje komplexné záznamy minulých udalostí a kľúčové štatistiky.
Senzor UniCond od spoločnosti METTLER TOLEDO ponúka vynikajúco opakovateľnú presnosť merania. Senzor UniCond je vybavený s technológiou inteligentnej správy elektródy (ISM). Senzory ISM ponúkajú v porovnaní s analógovými sondami lepší výkon, a to z viacerých dôvodov vrátane zabudovaného mikroprocesora, ktorý konvertuje analógový signál zo senzoru na skutočnú hodnotu parametra.
Systém merania dopĺňa prevodník M800 METTLER TOLEDO. Je to viacparametrový prevodník, ktorý ponúka flexibilitu inštalácie a zjednodušené kontrolné merania procesu. Súčasne dokáže monitorovať jeden, dva alebo štyri senzory v linke.
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Senzory na meranie vodivosti a odporu")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Prevodníky")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "pH sonda priamo v linke/ORP sonda (Redox)")