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Questa nota applicativa illustra l'importanza di poter contare su un'analisi accurata e in tempo reale del carbonio organico totale (TOC) nell'acqua ultrapura per semiconduttori. L'acqua ultrapura è il solvente più efficace e aggressivo impiegato dal settore dei componenti microelettronici nell'ambito della pulizia e della produzione dei wafer. Negli ultimi quarant'anni, il settore dell'elettronica ha aumentato esponenzialmente il numero dei circuiti che vengono incisi sui chip in silicone. L'aumento nel numero dei circuiti ha ridotto significativamente la larghezza di linea riproducibile, aumentando di conseguenza la necessità di una misura del TOC accurata e continua nei sistemi UPW.
I processi di produzione dei semiconduttori prevedono alcune delle più rigide specifiche rispetto alla contaminazione ionica e organica nei sistemi ad acqua pura e ultrapura. La misura del TOC nell'acqua per semiconduttori ha permesso ai produttori di migliorare la qualità dei prodotti e ottimizzare le rese. Gli avanzamenti nella tecnologia di purificazione dell'acqua e le innovazioni negli strumenti per il monitoraggio di questi contaminanti hanno giocato un ruolo significativo per il miglioramento e la misura della qualità dell'acqua ultrapura. Questi avanzamenti, a loro volta, hanno portato a ridurre le specifiche per tutti i livelli di contaminanti nei sistemi UPW.
L'analisi del TOC è un'efficace tecnica per il monitoraggio dei contaminanti organici nell'acqua ultrapura per semiconduttori e delle condizioni dei sistemi UPW utilizzati nel settore. Le sostanze organiche forniscono una fonte di alimentazione per i batteri presenti nel sistema di distribuzione, nei serbatoi di conservazione e nella tecnologia di processo o nei moduli di trattamento. Una misura rapida, comoda e accurata dei livelli di sostanze organiche in un sistema UPW consente di risparmiare milioni di dollari prevenendo la perdita di prodotto.
Il sensore 6000TOCi e il trasmettitore M800 offrono le prestazioni necessarie per soddisfare questi requisiti, oltre ai vantaggi della misurazione continua in linea in un pacchetto specifico per il settore industriale che richiede una manutenzione minima e con tecnologia multiparametro comprovata. Il sensore 6000TOCi si collega direttamente al trasmettitore M800, che fornisce ulteriori parametri di misura. Il sensore 6000TOCi con trasmettitore M800 è dotato del sistema Intelligent Sensor Management (ISM) di METTLER TOLEDO. La diagnostica avanzata ISM contribuisce a garantire sempre un funzionamento ottimale del sensore.
Per maggiori informazioni sul sensore 6000TOCi, sul trasmettitore M800 e su come questi strumenti possono essere utilizzati per l'analisi del TOC nell'acqua ultrapura, leggete la nota applicativa e visitate queste pagine:
- Sensore 6000TOCi: sensore ad alte prestazioni in grado di monitorare il TOC dell'acqua per semiconduttori con misurazioni in tempo reale e analisi stabile e accurata. Efficiente in applicazioni con acqua, permette di verificare in modo efficace le prestazioni dei sistemi.
- Trasmettitore M800: trasmettitore multiparametro in grado di accettare altri tre sensori analitici oltre a quello del TOC, tra cui quelli per conducibilità, pH, ORP o ossigeno disciolto[SST1] , oltre a pressione, livello del serbatoio o due sensori di flusso.
- Intelligent Sensor Management (ISM): tecnologia digitale che offre manutenzione predittiva, gestione semplificata dei sensori e produzione efficiente.
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Analizzatori di pH e ORP")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Trasmettitori analitici")
