Monitoramento da água ultrapura na indústria de microeletrônica
 
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White Paper

Monitoramento da água ultrapura na indústria de microeletrônica

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Com Medição de TOC e da Resistividade UPW

Água ultrapura e analítica de processo para a indústria de semicondutores
Água ultrapura e analítica de processo para a indústria de semicondutores

A indústria de semicondutores está avançando rapidamente, apresentando um aumento na demanda por mais chips por wafer e linhas mais estreitas na faixa de nanômetros de um dígito. Para enfrentar esses desafios, é preciso implementar o monitoramento e o controle da água ultrapura (UPW) para detectar impurezas iônicas que poderiam afetar negativamente o rendimento de wafer. Dois parâmetros fundamentais que devem ser monitorados on-line e em tempo real para assegurar a pureza da água são o carbono orgânico total (TOC) e a resistividade. A capacidade de medir esses parâmetros com precisão em níveis sub-ppb em sistemas de UPW permite que os fabricantes de semicondutores melhorem a qualidade do produto e maximizem o rendimento.

O 6000TOCi e o M800 fornecem à indústria de microeletrônica a ferramenta mais avançada para estar em conformidade com a medição contínua on-line e o controle de processo, ambos necessários para sistemas de UPW. O sistema de TOC da METTLER TOLEDO oferece o menor custo por ponto de medição e com a resposta mais rápida, além de diagnósticos integrados avançados e da detecção de níveis sub-ppb.

O sensor UniCond, o 6000TOCi e o transmissor M800 são os melhores investimentos com o intuito de reduzir riscos e melhorar o rendimento para a indústria de microeletrônica.

Esse informativo técnico abrange os seguintes tópicos:

  • A importância da análise on-line da resistividade e do TOC
  • Água ultrapura na fabricação de semicondutores
  • Monitoramento de TOC e Resistividade Contínuos e em Tempo Real

Os sensores 6000TOCi e UniCond e os transmissores M800 são as soluções de produto ideais da METTLER TOLEDO para a indústria de microeletrônica.

O 6000TOCi é um sensor de TOC on-line que fornece dados em tempo real e oferece diagnósticos preditivos. O sensor faz medições a cada segundo, permitindo uma análise de TOC contínua do sistema de água. O 6000TOCi é ideal em todas as aplicações de água pura em que seja fundamental a detecção rápida de alterações do nível de TOC. Além disso, o sensor fornece um registro abrangente do histórico e das principais estatísticas.

O sensor UniCond da METTLER TOLEDO oferece uma precisão de medição altamente repetível. O sensor UniCond vem equipado com o Gerenciamento Inteligente do Sensor (ISM). Os sensores ISM oferecem desempenho melhorado em relação a sensores analógicos por várias razões, incluindo um microprocessador interno que converte o sinal analógico do sensor na medição real do parâmetro.

O transmissor M800 da METTLER TOLEDO completa o sistema de medição. Trata-se de um transmissor multiparâmetro que oferece flexibilidade de instalação e medições simplificadas do controle de processo. Ele é capaz de monitorar um, dois ou quatro sensores em linha simultaneamente.

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