Ultratiszta víz monitorozása a mikroelektronikai iparban
White Paper

Ultratiszta víz monitorozása a mikroelektronikai iparban

White Paper

Az ultratiszta víz ellenállásának és TOC értékének mérésével

Ultratiszta víz és folyamatanalitika a félvezetőiparban
Ultratiszta víz és folyamatanalitika a félvezetőiparban

A félvezetőipar rohamos fejlődése egyre növekvő igényt hoz magával a félvezetőlaponkénti chipek számának növelése és a félvezetők állapotai közötti energiaátmenetek csökkentése iránt az egy számjegyű nanométeres tartományban. Az ezekkel a kihívásokkal történő szembenézéshez meg kell valósítani az ultratiszta víz monitorozását és ellenőrzését az ionszennyeződés észlelése érdekében, amely kedvezőtlenül befolyásolhatja a félvezetőlap-hozamot. A víztisztaság biztosításához két kritikus paramétert kell on-line, valós időben figyelni: az összes szervesszén-tartalmat (TOC) és az ellenállást. E paraméterek ppb szint alatti pontos mérése az ultratiszta vizes rendszerekben lehetővé teszi a félvezetőgyártók számára a termékminőség javítását és a hozam maximalizálását.

A 6000TOCi és az M800 a legkorszerűbb eszközt bocsátja a mikroelektronikai ipar rendelkezésére az ultratiszta vizes rendszerek által megkövetelt folyamatos on-line mérés és folyamatszabályozás biztosításához. A METTLER TOLEDO TOC-rendszere a legalacsonyabb mérési pontonkénti költséget és a legrövidebb válaszidőt, valamint fejlett integrált diagnosztikát és ppb alatti észlelést biztosít.

Az UniCond szenzor, a 6000TOCi és az M800 távadó a mikroelektronikai ipar legjobb beruházása a kockázat csökkentése és a hozam növelése érdekében.

Tanulmányunk a következő témakörökkel foglalkozik:

  • Az on-line ellenállás- és TOC-elemzés fontossága
  • Ultratiszta víz a félvezetőgyártásban
  • Az ellenállás és a TOC valós idejű, folyamatos ellenőrzése

A 6000TOCi szenzor, az UniCond szenzor és az M800 távadók a METTLER TOLEDO ideális termékmegoldásai a mikroelektronikai ipar számára.

A 6000TOCi valós időben adatokat szolgáltató, előrejelző diagnosztikát kínáló on-line TOC-szenzor. A másodpercenként méréseket végző szenzor lehetővé teszi a vízrendszer folyamatos TOC-elemzését. A 6000TOCi minden olyan tisztavizes alkalmazásban ideális, ahol kritikus fontosságú a TOC-szint-változások gyors észlelése. A szenzor biztosítja az előzmények és a legfontosabb statisztikák átfogó nyilvántartását.

A METTLER TOLEDO UniCond szenzora a nagyfokú mérési pontosság megismételhetőségét kínálja. Az UniCond szenzor Intelligens szenzorkezelés (Intelligent Sensor Management) technológiával rendelkezik. Az ISM-szenzorok több okból is jobb teljesítményt nyújtanak az analóg szondákkal a szenzor analóg jelét a paraméter tényleges mérési értékévé átalakító beépített mikroprocesszor segítségével.

A mérési rendszert a METTLER TOLEDO M800 távadója teszi teljessé. A rugalmasan telepíthető, több paraméteres távadó egyszerűsített folyamatszabályozási méréseket kínál. Akár négy in-line szenzor egyidejű monitorozására is képes.