Ultratiszta víz monitorozása a mikroelektronikai iparban
White Paper

Ultratiszta víz monitorozása a mikroelektronikai iparban

White Paper

Az ultratiszta víz ellenállásának és TOC értékének mérésével

Ultratiszta víz és folyamatanalitika a félvezetőiparban
Ultratiszta víz és folyamatanalitika a félvezetőiparban

A félvezetőipar rohamos fejlődése egyre növekvő igényt hoz magával a félvezetőlaponkénti chipek számának növelése és a félvezetők állapotai közötti energiaátmenetek csökkentése iránt az egy számjegyű nanométeres tartományban. Az ezekkel a kihívásokkal történő szembenézéshez meg kell valósítani az ultratiszta víz monitorozását és ellenőrzését az ionszennyeződés észlelése érdekében, amely kedvezőtlenül befolyásolhatja a félvezetőlap-hozamot. A víztisztaság biztosításához két kritikus paramétert kell on-line, valós időben figyelni: az összes szervesszén-tartalmat (TOC) és az ellenállást. E paraméterek ppb szint alatti pontos mérése az ultratiszta vizes rendszerekben lehetővé teszi a félvezetőgyártók számára a termékminőség javítását és a hozam maximalizálását.

A 6000TOCi és az M800 a legkorszerűbb eszközt bocsátja a mikroelektronikai ipar rendelkezésére az ultratiszta vizes rendszerek által megkövetelt folyamatos on-line mérés és folyamatszabályozás biztosításához. A METTLER TOLEDO TOC-rendszere a legalacsonyabb mérési pontonkénti költséget és a legrövidebb válaszidőt, valamint fejlett integrált diagnosztikát és ppb alatti észlelést biztosít.

Az UPW UniCond szenzor, a 6000TOCi és az M800 távadó a mikroelektronikai ipar legjobb beruházása a kockázat csökkentése és a hozam növelése érdekében.

Tanulmányunk a következő témakörökkel foglalkozik:

  • Az on-line ellenállás- és TOC-elemzés fontossága
  • Ultratiszta víz a félvezetőgyártásban
  • Az ellenállás és a TOC valós idejű, folyamatos ellenőrzése

A 6000TOCi szenzor, az UPW UniCond szenzor és az M800 távadók a METTLER TOLEDO ideális termékmegoldásai a mikroelektronikai ipar számára.

A 6000TOCi valós időben adatokat szolgáltató, előrejelző diagnosztikát kínáló on-line TOC-szenzor. A másodpercenként méréseket végző szenzor lehetővé teszi a vízrendszer folyamatos TOC-elemzését. A 6000TOCi minden olyan tisztavizes alkalmazásban ideális, ahol kritikus fontosságú a TOC-szint-változások gyors észlelése. A szenzor biztosítja az előzmények és a legfontosabb statisztikák átfogó nyilvántartását.

A METTLER TOLEDO UPW UniCond szenzora a mérési pontosság nagyfokú megismételhetőségét kínálja. Az UPW UniCond szenzor Intelligens szenzorkezelés (Intelligent Sensor Management, ISM) technológiával rendelkezik. Az ISM-szenzorok több okból is jobb teljesítményt nyújtanak az analóg szondákkal a szenzor analóg jelét a paraméter tényleges mérési értékévé átalakító beépített mikroprocesszor segítségével.

A mérési rendszert a METTLER TOLEDO M800 távadója teszi teljessé. A rugalmasan telepíthető, több paraméteres távadó egyszerűsített folyamatszabályozási méréseket kínál. Akár négy in-line szenzor egyidejű monitorozására is képes.

Thank you for visiting www.mt.com. We have tried to optimize your experience while on the site, but we noticed that you are using an older version of a web browser. We would like to let you know that some features on the site may not be available or may not work as nicely as they would on a newer browser version. If you would like to take full advantage of the site, please update your web browser to help improve your experience while browsing www.mt.com.