 |
Az ellenállóképesség – a vezetőképesség ellentettje – a legfontosabb paraméter a mikroelektronikai iparban, amelyet nyomon kell követni az ultratiszta víz minőségének fenntartása érdekében. A magas színvonalú termékek gyártásához a félvezetőgyártóknak kiemelkedően stabil ellenállósági mérési eredményekre van szüksége.
Egy nagy észak-amerikai félvezetőgyártó üzem olyan ellenállásmérési rendszert keresett, amely megfelel a magas elvárásainak, és alkalmas a folyamatok és a végtermék fejlesztésére. A gyártó a METTLER TOLEDO-val együttműködve több héten keresztül tesztelte az ultratisztavíz-rendszerében az UPW UniCond® rendszert az ellenállásmérések során. A teszt eredményeinek zárt vízkörös rendszerben való elemzését követően a gyártóüzem jelentős mértékű javulást tapasztalt a korábbi megoldáshoz képest az ellenállásmérési teljesítmény tekintetében. Úgy döntöttek, megváltoztatják a stratégiájukat, és az UPW UniCond szenzort alkalmazzák az új üzemeikben és a létesítmény-felújítások során. Az ellenállásmérések eredményei minden elvárást túlszárnyaltak; az eszköz teljesítménye stabilitás és pontosság tekintetében meghaladta a piacon elérhető összes többi ellenállásszenzorét.
Az esettanulmány a következőket tartalmazza:
- Az ügyfél hátterének leírása
- Az ellenállásmérés célját szolgáló tesztbeállítás értékelése
- Az eredmények értékelése
A METTLER TOLEDO UPW UniCond szenzora a nagyfokú mérési pontosságot megismételhetőségét kínálja. A továbbfejlesztett digitális jelfeldolgozás csökkenti a zajt, és a mérés stabilitásának nagyságrendnyi javulását biztosítja. Az UPW UniCond szenzor Intelligens szenzorkezelés (Intelligent Sensor Management) technológiával rendelkezik. Az ISM vezetőképesség-szenzorok az analóg szondákhoz képest a szenzor analóg jelét a vezetőképesség-mérés tényleges értékévé átalakító beépített mikroprocesszornak köszönhetően jobb teljesítményt nyújtanak.
A UPW UniCond szenzorok magas szintű mérési pontosságot biztosítanak, mivel a beépített cellaállandó, a hőmérsékletszenzor és a mérőkörök egy egységként vannak kalibrálva. Nem lépnek fel az eltérő kábelhosszúságok, a csatlakozások vagy a távadó változása miatt bekövetkező negatív hatások, hiszen a mérőkörök zárt egységet alkotnak. A szenzorok rendkívül stabil digitális jelet bocsátanak ki, amelyre nincs hatással az interferencia vagy a környező berendezések és környezet által okozott elhasználódás.
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Vezetőképesség-érzékelő / ellenállás-érzékelő")
