 |
Ázsia egyik legnagyobb félvezetőgyártója számára sok nehézséget okozott az oldott oxigén mérése. A vállalat által használt drága rendszernek karbantartás után három-négy napra volt szüksége ahhoz, az oldottoxigén-értékek a használatot lehetővé tevő szintre stabilizálódjanak.
A vállalat az ultratiszta vizes rendszerében kiértékelte a METTLER TOLEDO Thornton optikai oldottoxigén-szenzorát és M800-as távadóját mint oldottoxigén-mérési megoldást.
Az oldott oxigén mérése a félvezetőgyár kiemelt prioritása volt. Az üzemnek szigorú elvárásai voltak, egyebek között a rövid reakcióidőt, az alacsony észlelési szintet és a kis karbantartásigényt illetően. A METTLER TOLEDO egy optikai oldottoxigén-szenzorból és egy M800-as távadóból álló megoldása nem csupán teljesítette az elvárásokat, hanem túl is szárnyalta azokat. Mivel az optikai technológiával ellátott oldottoxigén-szenzorok nem igényelnek polarizációt, a mérési rendszernek kiváló a rendelkezésre állása. Az M800-as távadó többcsatornás, több paraméteres lehetőségeinek köszönhetően az oldottoxigén-mérés egyéb paraméterek méréséhez társítható.
A részletekért – beleértve az alábbi témaköröket – töltse le az esettanulmányt.
- Miért van szükség az oldott oxigén mérésére a félvezetőgyártásban?
- Előnyök a pontosság és a reakcióidő terén
- Hosszú távú megtakarítások optikai méréssel
Az ultratiszta víz gázmentesítése után történő oldottoxigén-mérés annak ellenőrzésére szolgál, hogy sikerült-e eltávolítani az oxigént a vízből. Az oldott oxigén mennyiségének csökkentésével fenntartható a víz kis vezetőképessége, ami kritikus fontosságú az ezt követő kezelési lépések, különösen a folyamatos elektro-deionizáció során. Az oldott oxigén koncentrációja a víz felhasználási helyén a félvezetőlap feldolgozásakor végig 5 ppb alatt marad, így kontrollálható a kapuoxid vastagsága. Ha a felhasználási helyen magasabb az oldott oxigén szintje, a hidrogén-peroxid maró hatása hibákhoz és a hozam csökkenéséhez – valamint magas költségekhez vezethet.
