 |
Ez az alkalmazási jegyzet rávilágít a megbízható, valós idejű TOC-analízis fontosságára a félvezetőipar ultratiszta vizes rendszereiben. A mikroelektronikai iparban az ostyák tisztítása és gyártása során alkalmazott leghatékonyabb és legagresszívabb oldószer az ultratiszta víz. Az utóbbi négy évtized során exponenciálisan nőtt az elektronikai iparban a szilíciumlapkákba maratott áramkörök száma. Az áramkörök számának növekedésével jelentősen csökkent a vonalvastagság, ami a TOC-mérés pontosságával és folyamatosságával szembeni követelmények nagymértékű szigorodását hozta magával az ultratiszta vizes rendszerekben.
A félvezetőgyártási folyamatokban különösen szigorúak a nagytisztaságú és ultratiszta vizes rendszerek ionos és szerves szennyeződésére vonatkozó specifikációk. A TOC mérésével a félvezetőgyártás során használt vízben a termékminőség javítása mellett a hozam is növelhető. A víztisztítási technológia fejlődése és az említett szennyeződések monitorozására szolgáló műszerek innovációja jelentős szerepet játszott az ultratiszta víz minőségének javításában és mérésében. Ezzel együtt azonban szigorodtak az ultratiszta vizes rendszerek szennyezettségi szintjeivel kapcsolatos következmények.
A félvezetőipari ultratiszta vizes rendszerek összes szervesszén-tartalmának (TOC) analízise hatékony módszer az ultratiszta víz szerves szennyeződéseinek és a mikroelektronikai iparban használt ultratiszta vizes rendszerek „egészségének” monitorozására. A szerves anyagok táplálékul szolgálnak az elosztórendszerben, a tárolótartályokban, a feldolgozótechnológiában és a kezelőmodulokban potenciálisan jelen lévő baktériumok számára. Az ultratiszta vizes rendszerek szerves szennyeződési szintjének pontos, gyors és kényelmes mérésével a termeléskiesés megelőzésének köszönhetően dollármilliók takaríthatók meg.
Az ezen követelmények teljesítéséhez szükséges teljesítményt biztosító 6000TOCi szenzor és M800 távadó olyan további előnyöket kínál, mint a folyamatos on-line mérés kis karbantartásigénnyel vagy az ipari csomagolás bevált több paraméteres technológiával. A 6000TOCi szenzor és az M800 távadó közötti közvetlen kapcsolatnak köszönhetően az összeállítás több paraméter mérésére képes. A 6000TOCi szenzor és az M800 távadó párosa a METTLER TOLEDO Intelligens szenzorkezelés (Intelligent Sensor Management, ISM) rendszerével rendelkezik. Az ISM fejlett diagnosztikájával könnyebben biztosítható a szenzor folyamatos optimális működése.
Az alkalmazási jegyzet elolvasásával és az alábbi hivatkozások megnyitásával többet is megtudhat a 6000TOCi szenzorról és az M800 távadóról, valamint használatuk módjáról az ultratiszta víz TOC-analízise terén:
- 6000TOCi szenzor – nagy teljesítményű TOC-szenzor az összes szervesszén-tartalom monitorozására a félvezetőgyártás során használt vízben valós idejű méréssel és stabil, pontos analízissel. Vízhatékony szenzor ellenőrizhető rendszerteljesítménnyel.
- M800 távadó – több paraméteres távadó, amely a TOC-szenzor mellett három további analitikai szenzort is fogadhat, például vezetőképesség-, pH-, ORP- vagy oldottoxigén[SST1]-szenzort, továbbá nyomás-, tartályszint- vagy két áramlásszenzort.
- Intelligens szenzorkezelés (Intelligent Sensor Management, ISM) – digitális szenzortechnológia, amely előrejelezhető karbantartást, egyszerű szenzorkezelést és hatékony termelést biztosít.
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Távadók")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "In-line pH szonda/ORP (redox) szonda")
