Supervisión del agua ultrapura (UPW) para la industria microelectrónica
Artículo técnico

Supervisión del agua ultrapura (UPW) para la industria microelectrónica

Artículo técnico

Con medición del TOC y la resistividad del UPW

Agua ultrapura e instrumentación analítica en proceso para el sector de los semiconductores
Agua ultrapura e instrumentación analítica en proceso para el sector de los semiconductores

El sector de los semiconductores avanza rápidamente gracias a la necesidad de disponer cada vez de más chips por oblea fotovoltaica, así como de menores grosores dentro de la escala nanométrica de un solo dígito. Para dar respuesta a todos estos retos, es necesario aplicar un control y supervisión del agua ultrapura (UPW) que permita detectar las impurezas iónicas susceptibles de afectar negativamente al rendimiento de las obleas. La resistividad y el carbono orgánico total (TOC) son dos parámetros imprescindibles para asegurar la pureza del agua, por lo que su supervisión en línea y en tiempo real es fundamental. La capacidad de medir estos parámetros a niveles sub-ppb en los sistemas de UPW da a los fabricantes de semiconductores la oportunidad de optimizar el rendimiento y mejorar la calidad de su producto.

El analizador 6000TOCi y el transmisor M800 ponen a disposición de la industria microelectrónica la herramienta más avanzada del mercado para encargarse de la medición en línea constante y el control de procesos que requieren los sistemas de UPW. El sistema de TOC de METTLER TOLEDO ofrece el menor coste por medición del mercado con el tiempo de respuesta más rápido y funciones de diagnóstico avanzado integrado y detección de niveles sub-ppb.

El sensor de UPW UniCond, el analizador 6000TOCi y el transmisor M800 son la mejor inversión para reducir riesgos y optimizar el rendimiento en la industria microelectrónica.

En este artículo técnico se tratan los siguientes temas:

  • La importancia del análisis del TOC y la resistividad en línea
  • Agua ultrapura en la producción de semiconductores
  • Supervisión constante y en tiempo real de la resistividad y el TOC

Las soluciones ideales de METTLER TOLEDO para la industria microelectrónica son el analizador 6000TOCi, el sensor de UPW UniCond y el transmisor M800.

El analizador 6000TOCi es un sensor de TOC en línea que permite disfrutar de datos en tiempo real y diagnóstico predictivo. El sensor realiza mediciones cada segundo, lo que permite contar con un análisis constante del TOC presente en el sistema de agua. El 6000TOCi es ideal en todas las aplicaciones de agua pura donde la detección rápida de los cambios de los niveles de TOC es crítica. Además, el sensor permite guardar un registro exhaustivo con el historial de las estadísticas más importantes.

El sensor de UPW UniCond de METTLER TOLEDO ofrece mediciones con una exactitud y una repetibilidad sumamente elevadas. El sensor de UPW UniCond está equipado con la tecnología Intelligent Sensor Management (ISM). Los sensores ISM ofrecen un mayor rendimiento que los analógicos por numerosos motivos, entre los que destacan la presencia de su microprocesador integrado, que convierte la señal analógica del sensor en la medida real del parámetro.

El transmisor M800 de METTLER TOLEDO completa el sistema de medición. Se trata de un transmisor multiparamétrico que ofrece una instalación flexible y simplifica las mediciones del control de procesos. Este transmisor permite la supervisión simultánea de uno, dos o cuatro sensores en línea.

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