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电阻率传感器和探头
用于纯水应用的在线电阻率传感器
电阻率传感器是一种分析仪器，用于监测微电子和半导体制造业中使用的超纯水(UPW)电阻率。电阻率是电导率的倒数，用于对某个材料阻挡电流的强度进行定量。电阻率分析仪提供关键测量，确保电子制造业中使用的水未携带生产过程中可能造成产品损坏的离子。
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UniCond Digital Conductivity Sensor
This video explains some of the most common challenges when selecting a conductivity sensor for pure and ultrapure waters. It addresses how the UniCond digital conductivity sensors from METTLER TOLEDO eliminates these challenges. The sensors make conductivity monitoring accurate, easy and efficient.
先进的测量回路提高了测量精度
UniCond系列电阻率传感器采用先进的内置测量回路，可提供卓越的测量精度并降低干扰风险。
在半导体制造中最大限度地提高产量
梅特勒-托利多电阻率传感器获得全球半导体工厂的信赖，可帮助他们维护超纯水系统，并防止出现可能对生产产量产生不利影响的水系统问题。
简单的快速启动与调试
采用智能传感器管理(ISM)技术的电阻率传感器将校准数据和其他传感器信息存储在传感器中，可实现快速启动的即插即测量功能。
快速识别不符合标准的性能
ISM电阻率传感器提供传感器诊断，识别不符合标准的性能从而改善过程控制。
确保高度精确的水电阻率测量
UPW的电阻率为18.18 Megohm-cm，而梅特勒-托利多电阻率传感器能够精确检测出非零背景中非常小的电阻率变化。
满足半导体生产中的水要求
随着线宽不断缩小，梅特勒-托利多电阻率传感器通过精确、稳定的测量满足颇具挑战性的UPW标准。
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确保出色的超纯水电阻率测量准确性
由于半导体芯片晶圆尺寸增加，而生产线宽度变窄，对超纯水质的需求不继增加。使用可在超纯水中可靠运行电阻率传感器监测水的纯度，是非常具有挑战。 阅读更多
满足当今光电加工要求的电阻率测量仪器
电阻率仪器多年来一直在为水净化行业提供服务。几年前，凭借其可靠性和持续性，电阻率仪器测量几乎是设计新的水系统时理所当然的选择。每年或一年两次的工厂维护计划往往会完全忽视电阻率仪器。 阅读更多
成功案例： 用数字传感器测量电阻率
电阻率测量值（电导率的倒数），是微电子工业中用以保持超纯水质的最关键的监测参数。对于半导体制造商来说，高度稳定的电阻率测量是生产高质量产品所必需的。 阅读更多
微电子行业中的超纯水监测
伴随着对每片晶片上更多芯片及单数位纳米范围内更窄线宽的需求的不断增长，半导体行业正在高速发展。为了应对这些挑战，必须实施超纯水(UPW)监测和控制，以检测可能对晶片产出造成负面影响的离子杂质。 阅读更多
FAQs
什么是电阻率？
电阻率为电导率的倒数。电阻率是本质属性，用于对某个材料阻挡电流的强度进行定量。
什么是电阻率传感器？
电阻率传感器是一种在线传感器，可连续测量水系统中的电阻率。该测量通常应用于监测和控制电子制造业中的超纯水(UPW)纯度。梅特勒-托利多电阻率传感器和探头专为在低电导率水中进行精确测量而设计。
梅特勒-托利多电阻率传感器与哪些变送器兼容？
电阻率传感器可以与所有适用于电导率或电阻率测量的梅特勒-托利多水变送器集成在一起。 这些电阻率和电导率变送器包括M200，M300 Water和M800 Water变送器。在选择适合您应用的变送器时，应当与您当地的梅特勒-托利多代表进行沟通。