光学传感器和传统DO传感器有什么区别？
传统电化学传感器面临诸多挑战：
- 响应缓慢： 它们需要较长的极化时间，延迟关键测量。
- 高维护： 传感器的校准和维护造成成本增加和额外停机
不止高精度，利用光学 DO传感器的及时检测，可以预防氧气进入，帮助 保护超纯水系统免受腐蚀和损坏 。
连接多参数变送器时，可以 同时监测 电导率/电阻率、温度、 总有机碳（TOC）和 pH值。 这种高效整合，简化了操作员培训，减少备件库存，简化了系统管理。
溶解氧在关键半导体制造工艺中至关重要
化学机械平坦化（CMP）
控制溶解氧有助于管理晶圆表面的氧化和腐蚀。精确的DO控制确保抛光均匀，减少缺陷，并提升平坦化过程的有效性。
外延工艺
晶圆外延层的生长对DO水平极为敏感。保持超低溶解氧有助于外延层稳定增长，确保优良的电气性能，其将直接影响器件性能。
相比之下，先进的光学 溶解氧传感器 具有 显著优势：
- 快速且准确的响应： 他们采用荧光淬灭技术，实现快速、十亿分之一的测量，并在几分钟内稳定。
- 低维护： 它们只需少量维护，通常只需每年更换极少零部件。
- 多参数集成： 与变送器连接后，同时可以监控其他关键参数，简化系统管理并减少库存。
光学传感器如何保护UPW系统并简化监控？
利用快速响应传感器推进微电子制造领域的溶解氧测量
在本案例研究中，METTLER TOLEDO的光学DO传感器和 M800变送器 极大地提升了亚洲最大半导体代工厂之一的溶解氧测量，提高了精度和响应时间，并减少了维护。
了解更多信息
相关产品
Jim Cannon
Head of OEM & Markets | Industry Specialist
With 35 years of experience, Jim Cannon is a recognized authority in the world of ultrapure water. His career is defined by a commitment to precision—whether he’s navigating the complexities of UV oxidation or advising the Facilities and Liquid Chemicals Committee on new regulations. Today, Jim continues to be a trusted advisor for the semiconductor and pharmaceutical sectors, ensuring that the water powering our most advanced technologies meets the highest possible standards of excellence.