净水参数

半导体行业依靠最高质量的超纯水 (UPW) 来生产当今的集成电路。本点播网络研讨会涵盖了生产 UPW 所需的关键分析参数，以及如何利用测量结果改进过程控制器。

主讲人不仅讨论了用于监控 UPW 撬块的关键分析水质纯化参数，还讨论了在过程中监控这些参数的位置。

对用于监测 UPW 的水质分析参数的建议限值和这些标准进行了回顾，主讲人还详细介绍了应使用哪些分析控制器来提供更多信息和控制 UPW 的生产。电阻率、TOC、二氧化硅和溶解氧的测量不仅对保持 UPW 的最高质量至关重要，而且这些水中TOC 净化参数也是在各种半导体工具中使用 UPW 的关键测量参数。