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由于微电子技术的进步,高标准的超纯水对于高效清洁和制造工艺至关重要。二氧化硅是去离子树脂接近耗尽时首先释放的离子之一,是水系统健康状况的重要指标。在线二氧化硅监测可实时监测二氧化硅穿透,充分利用去离子树脂的性能和剩余使用寿命,减少再生化学品的浪费,提升生产效率。
此外,持续监测可以防止晶圆污染,从而防止晶圆制造过程中可能导致缺陷,从而提高良率并降低缺陷率。此外,高标准的超纯水还可以最大限度地减少设备磨损和运营成本,因为二氧化硅沉积物会导致高精度设备结垢和结垢,从而导致维护和停机时间增加。
梅特勒托利多 2850Si 分析仪为连续硅测量提供了可靠的解决方案,可确保准确及时的数据、预测性诊断和低维护要求。
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