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微电子行业超纯水在线测量解决方案

Microelectronics
微电子行业需要在生产过程中使用大量的超纯水。一条普通的生产线每天用于晶圆和封装基板清洁、冲洗与蚀刻操作就要消耗数千立方米的超纯水。过程分析测量对于优化水源利用率和较大限度地提高回收和重复使用率至关重要。

Mettler-Toledo Thornton针对要求极其苛刻的超纯水和微电子工艺加工应用过程,提供量身定做的一系列覆盖广泛应用范围的分析仪器,我们提供一流的电阻率/电导率、TOC、pH、ORP、溶氧与溶解臭氧解决方案,从而增加回收水量、降低排放量以及生产过程成本。了解关于我们采用独特智能传感器管理 (ISM™) 理念的在线测量解决方案的更多信息。
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半导体

Semiconductor

超纯水是半导体行业在生产与清洁晶圆时所采用的溶解性较强的腐蚀性溶剂。为了实现高效率操作以及符合较为严格的要求,对您的超纯水系统进行分析过程控制至关重要。
 

平板显示器

Flat Panel Display

平板显示器生产对于纯水和超纯水系统中离子化和有机污染物的含量有着非常严格的要求。对超纯水系统中的这些污染物进行监测可以帮助平板显示器生产商提升产品质量和产量。

 

光电

Photovoltaic

光电电池生产需要晶圆表面绝对清洁,必须使用超纯水对其进行充分清洁与冲洗。离子化盐或有机污染物会对电池效率产生不利影响,必须对其进行连续监测。





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产品和解决方案

Products and Solutions

我们广泛的产品中含有适用于较为苛刻微电子应用的解决方案。

 

智能传感器管理系统

ISM

智能传感器管理系统 (ISM) 平台是一种创新的维护概念,它可简化传感器的操作,提高可靠性以及降低传感器生命周期成本。

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