提高晶圆产量并减少废料

随着监管机构对可持续发展的日益重视，半成品工厂在提高废水质量和减少废水数量方面面临着越来越大的压力。作为水质的主要指标，精确的电阻率测量至关重要。

RCA 清洁用于晶圆生产的每个步骤之间，使用三到四个清洁槽，每个清洁槽之后都要进行超纯水 (UPW) 冲洗，以在下一个生产步骤之前去除化学品、残留物和颗粒。

目前市面上的典型电导率电极的测量精度为 +/- 1% 。这种不确定性水平对于某些工艺来说是可以接受的，但却无法帮助半成品工厂满足生产下一代技术的需求。为了满足这些不断变化的要求，梅特勒-托利多-桑顿开发了UPW UniCond™电阻率传感器，这是目前唯一能够实现温度补偿电阻率测量精度≥0.5% 的电阻率传感器。