 |
Branża półprzewodników szybko się rozwija i zwiększa zapotrzebowanie na zagęszczenie układów scalonych na płytce i mniejszą szerokość linii w nanometrach jednocyfrowych. Aby sprostać tym wyzwaniom, należy wprowadzić monitorowanie i kontrolę wody ultraczystej w celu wykrywania zanieczyszczeń jonowych, które mogłyby mieć negatywny wpływ na działanie płytek. Są dwa krytyczne parametry, które wymagają monitorowania on-line w czasie rzeczywistym, aby zapewnić czystość wody: całkowita zawartość węgla organicznego (TOC) i rezystywność. Możliwość dokładnego pomiaru tych parametrów na poziomie pojedynczych ppb w instalacjach wody ultraczystej umożliwia producentom półprzewodników poprawę jakości produktu i maksymalizację wydajności.
Modele 6000TOCi i M800 zapewniają przemysłowi mikroelektronicznemu najbardziej zaawansowane narzędzie spełniające wymagania w zakresie ciągłego pomiaru on-line i kontroli procesu wymagane w instalacjach wody ultraczystej. System METTLER TOLEDO TOC zapewnia najniższy koszt w przeliczeniu na punkt pomiarowy z najszybszą reakcją, zaawansowaną, zintegrowaną diagnostyką i wykrywaniem na poziomie pojedynczych ppb.
Czujnik UniCond 6000TOCi i przetwornik M800 to najlepsze inwestycje, które zmniejszą ryzyko i poprawią wydajności przemysłu mikroelektronicznego.
W opracowaniu omówiono następujące tematy:
- Znaczenie pomiaru rezystywności i TOC on-line
- Woda ultraczysta w produkcji półprzewodników
- Monitorowanie w czasie rzeczywistym oporu właściwego i TOC
Idealne rozwiązania METTLER TOLEDO dla przemysłu mikroelektronicznego to czujnik 6000TOCi, czujnik UniCond i przetworniki M800.
6000TOCi jest czujnikiem TOC on-line, który dostarcza dane w czasie rzeczywistym i oferuje diagnostykę zapobiegawczą. Czujnik mierzy co sekundę, umożliwiając ciągłą analizę TOC w instalacji wodnej. Model 6000TOCi jest idealny do wszystkich zastosowań związanych z wodą czystą, gdzie szybkie wykrywanie zmian poziomu TOC ma kluczowe znaczenie, a czujnik umożliwia rejestrację pełnej historii i kluczowych statystyk.
Czujnik UniCond firmy METTLER TOLEDO oferuje wysoką powtarzalność pomiarów. Czujnik UniCond jest wyposażony w technologię zarządzania inteligentnymi czujnikami pomiarowymi (ISM). Czujniki ISM oferują lepszą wydajność w porównaniu z sondami analogowymi z wielu powodów, m.in. dzięki wbudowanemu mikroprocesorowi, który przetwarza sygnał analogowy z czujnika na rzeczywisty pomiar parametru.
Uzupełnieniem tego systemu pomiarowego jest przetwornik M800 firmy METTLER TOLEDO. Jest to przetwornik wieloparametrowy, który oferuje elastyczną instalację i uproszczone pomiary kontrolne procesu. Może jednocześnie monitorować jeden, dwa lub cztery czujniki liniowe.
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Czujnik przewodności")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Przetwornik")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Sonda pH in-line / sonda ORP (Redoks)")