 |
Jeden z największych w Azji producentów półprzewodników borykał się z problemami w pomiarze tlenu rozpuszczonego. Korzystali z drogiego systemu, który po konserwacji potrzebował od trzech do czterech dni na ustabilizowanie odczytów, tak aby można z nich było korzystać.
Wytwórnia przetestowała czujnik optyczny DO firmy METTLER TOLEDO Thornton wraz z przetwornikiem M800 jako rozwiązanie do pomiaru tlenu rozpuszczonego w wodzie ultraczystej.
Pomiar zawartości tlenu rozpuszczonego był priorytetem w tej wytwórni półprzewodników. Ich oczekiwania były wysokie, w tym bardzo krótki czas reakcji, niski poziom wykrywalności i ograniczone zapotrzebowanie na obsługę techniczną. Firma METTLER TOLEDO nie tylko spełniła, ale wręcz przekroczyła te oczekiwania dzięki rozwiązaniu obejmującemu czujnik optyczny DO i przetwornik M800. Czujniki DO z technologią optyczną nie wymagają polaryzacji, więc dostępność systemu pomiarowego jest bardzo wysoka. Przetwornik M800 działa wielokanałowo i wieloparametrowo, umożliwiając skojarzenie pomiaru DO z pomiarem innych parametrów.
Pobierz studium przypadku, aby się zapoznać m.in. z tymi zagadnieniami:
- Po co mierzyć tlen rozpuszczony w wytwórni półprzewodników?
- Precyzja pomiaru i krótki czas reakcji
- Długoterminowe oszczędności dzięki technologii optycznej
Rozpuszczony tlen jest mierzony po odgazowaniu wody ultraczystej w celu potwierdzenia usunięcia tlenu z wody. Ograniczenie ilości tlenu rozpuszczonego utrzymuje niską przewodność wody, co jest krytyczne na kolejnych etapach oczyszczania, zwłaszcza w ciągłej elektrodejonizacji. Stężenie tlenu rozpuszczonego w punkcie użycia (POU) podczas przetwarzania płytek jest utrzymywane na poziomie poniżej 5 ppb, aby zapobiec utracie kontroli nad grubością tlenku bramki. Wyższy poziom tlenu rozpuszczonego w POU może skutkować nieoczekiwanym wytrawianiem przez natlenioną wodę, co spowoduje awarię i utratę wydajności — przy dużych kosztach finansowych.
